Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9203837 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9203837
Taille de la plaquette: 12"
Twin chamber, 12" Process: HT SiN (2) APF.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE est un réacteur de dépôt ou de gravure à base de plasma de pointe conçu pour diverses applications de fabrication de plaquettes à semi-conducteurs. La conception efficace du réacteur intègre des systèmes avancés d'automatisation, de contrôle et de surveillance des processus pour obtenir des résultats de haute précision. Sa chambre à vide en acier inoxydable permet un traitement à haut débit, avec un espace généreux pour les substrats et une large gamme de configurations de détecteurs et de moniteurs. Les capacités de traitement de précision d'AMAT Producer SE permettent une homogénéité, un contrôle des bords et une propreté supérieurs, largement favorisés par les principaux fabricants de semi-conducteurs. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE utilise un équipement unique et plus efficace de livraison de gaz cyclonique non Bell, qui permet des compositions gazeuses in situ plus riches et des densités plasmatiques plus élevées nécessaires pour augmenter le débit et améliorer le contrôle des procédés. Le réacteur est bien adapté pour une gamme complète d'applications d'outils monobloc et de grappes, y compris la gravure, le nettoyage et le dépôt. Son système de verrouillage de charge assure une perte de gaz minimale en tout temps, et peut accueillir des substrats jusqu'à 200mm en taille tout en accueillant de nombreuses configurations de structures de chauffage et de refroidissement. Le producteur SE offre également des fonctions avancées de surveillance et de contrôle des procédés. Il dispose d'un module Advanced Process Control (APC) qui permet de contrôler en temps réel la rétroaction des variables de processus en boucle fermée. Son logiciel comprend également le contrôle basé sur des règles des applications d'outils monobloc ou cluster. En outre, il offre un développement et une exécution de recettes flexibles, des systèmes d'alarme automatiques et l'accès à des données statistiquement significatives. Enfin, les caractéristiques de sûreté avancées du réacteur en font un outil fiable et sûr pour les applications multi-utilisateurs. Son vitrage de sécurité breveté utilise du verre résistant aux rayons X et donne accès à des composants clés sans compromettre l'intégrité sous pression du réacteur. De plus, l'unité de sécurité avancée intégrée permet aux administrateurs de systèmes de protéger les recettes et les paramètres d'intégrité de la machine à tout moment. AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE a établi la norme pour les procédés innovants de fabrication de plaquettes semi-conductrices grâce à ses caractéristiques de précision, de contrôle des procédés et de sécurité. Il fournit à l'industrie une solution efficace, fiable et sûre de dépôt et de gravure à base de plasma.
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