Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9215447 à vendre en France
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ID: 9215447
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
CVD System, 12"
Process: P-TEOS(USG)
(2) Twins
FI Robot: KAWASAKI
Chamber configuration: Chamber-A,B
RPS: MKS FI120620
Heater: ALN
RF:
ADVANCED ENERGY APEX3013
ADVANCED ENERGY PDX-900-2V
Gas delivery
Chamber A&B:
Gas / Size / Model
NF3 / 5slm / Unit 8565C
TEOS / 7mgm / STEC LF-A40M-A-EVD
TEOS / 7mgm / STEC LF-A40M-A-EVD
Missing gases for chamber A & B: O2, Ar, He
Missing parts: H/E, HDD, OTF, iPump
Power requirements: 200/208 V, 60Hz
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE est l'un des principaux réacteurs de traitement du silicium disponibles sur le marché. Ce réacteur est conçu pour réaliser une grande variété de matériaux, y compris du silicium pour la production de puces. Il dispose d'une large gamme de caractéristiques pour aider à assurer une production efficace de semi-conducteurs de haute qualité. AMAT Producer SE a quatre zones différentes pour différentes fonctions. La première zone est une chambre destinée au traitement de substrats solides tels que des plaquettes de silicium. Cette chambre est équipée d'une paroi interne tournante pour aider à répartir uniformément les gaz entrants. Il existe également une tête de douche réglable pour l'application de précurseurs liquides sur le substrat. La deuxième zone, appelée « zone de traitement », est celle où se déroule le processus de dépôt des métaux. Cette zone contient un système d'éclairage multi-vues (MVIM) qui facilite le dépôt uniforme de métal sur le substrat. Le MVIM permet également un meilleur contrôle de l'épaisseur, de l'uniformité et de la couverture du film. La troisième zone est la zone de déchargement/chargement qui permet l'enlèvement des plaquettes complétées. Cette zone est conçue pour faciliter l'enlèvement et le chargement des plaquettes rapidement et efficacement. La quatrième zone est le système de distribution du gaz (GDS) qui est utilisé pour réguler et contrôler la pression et la vitesse des gaz de procédé au fur et à mesure qu'ils traversent le réacteur. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE dispose d'une gamme de fonctions de réglage et de surveillance qui permettent un contrôle optimal du procédé et de la stabilité. Cela inclut les capteurs de pression et de température, ainsi que la capacité de régler la puissance, les débits de gaz et la taille de la chambre. Le réacteur dispose également d'un système informatique qui permet une surveillance à distance du processus et fournit des données de performance. Le producteur SE est un réacteur très efficace et fiable capable de produire du silicium de haute qualité et d'autres matériaux semi-conducteurs. Ses caractéristiques en font un bon choix pour ceux qui recherchent une production de semi-conducteurs fiable et efficace.
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