Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9215461 à vendre en France
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Vendu
ID: 9215461
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
CVD System, 12"
FI Robot: KAWASAKI (Vacuum EV missing)
Chamber A: Nano cure (UV Cure)
Chamber B: BD (BlackNN diamond)
Chamber C: Blok (Barrier low-k)
Gas: IGS Type
UV Power supply rack: ASTEX Generator
Chamber A:
Gas / Model / Flow
Ar / UFC-8565 / 30slm
He / UFC-8565 / 30slm
Chamber B:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 2slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
TMS / UFC-8565 / 750cc
He / UFC-8565 / 5SLM
He / UFC-8565 / 12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 10slm
Chamber C:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 3slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
O2 / UFC-8565 / 10slm
He / UFC-8565 /12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 5slm
Missing gas for chamber B & C:
mDEOS
ATRP
Missing parts:
PC
Flex
Controller unit
MF Motion controller CPU board
LFC (mDEOSx2, ATRTx2)
Chamber B&C:
Heater power filter
Chamber IO controller unit
Lid assy
2006 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE est un système de dépôt de couche atomique de nouvelle génération conçu pour une production à haut débit et des économies de coûts. Il dispose d'une architecture modulaire unique, d'une chambre de processus à haute absorbance et d'algorithmes de contrôle pour augmenter l'uniformité des plaquettes. Cela permet un débit plus rapide et des économies plus importantes sans compromettre la qualité. L'architecture modulaire d'AMAT Producer SE en fait une solution rentable pour l'uniformité de l'épaisseur des plaquettes. Il offre la flexibilité d'être personnalisé pour répondre aux besoins de toute exigence de volume de production. Sa conception multi-zones unique permet un contrôle parallèle des réacteurs et une plus grande flexibilité dans les paramètres de processus pour augmenter le débit. De plus, des profils de puissance complexes peuvent être configurés pour améliorer l'uniformité tridimensionnelle. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La chambre de procédé à haute absorbance du producteur SE permet de minimiser la distorsion lors des essais d'uniformité des plaquettes. Il est capable de déposer uniformément du nitrure, des oxydes et d'autres matériaux à travers la plaquette. Le système dispose également d'un contrôleur informatique embarqué pour une programmation et un contrôle faciles. Cela améliore la fiabilité et la reproductibilité, et permet une commutation rapide entre les paramètres de fonctionnement. Producteur SE est également livré avec un algorithme de contrôle avancé pour assurer l'uniformité de l'épaisseur des plaquettes. Cela comprend un système de réflectivité confocale multi-zones qui permet un contrôle finement détaillé des caractéristiques des matériaux de dépôt. Il peut également être utilisé pour le traitement post-dépôt, comme la gestion du stress et le contrôle du profil des parois latérales. Cela permet d'assurer l'uniformité de la plaquette. AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE est idéal pour une production à haut débit et des économies de coûts. Son architecture modulaire, sa chambre d'absorption élevée et ses algorithmes de contrôle fiables en font un choix économique et fiable pour produire des films de qualité supérieure. Il s'agit d'un choix idéal pour les séries de production à haut volume et peut aider à réduire le coût total de la propriété.
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