Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9215469 à vendre en France
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ID: 9215469
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
CVD System, 12"
Process: SA-USG
(2) Twins
FI Robot: KAWASAKI
Chamber configuration: Chamber-A,B
RPS: MKS ASTRONex FI80131
Heater: ALN
MKS AX8407A Ozone generator
Gas delivery
Chamber A,B:
Gas / Size / Model
O2 / 30slm / Unit 8526C
N2 / 50slm / Unit 8565C
He / 30slm / Unit 8565C
NF3 / 7slm / Unit 8565C
Ar / 15slm / Unit 8565C
TEOS / 7g/min / STEC LF-A40M-A-EVD
Missing parts:
Noise filter
RPSC Line
Lid cover
HDD
Floppy
H/E
Chiller
OTF
iPump
INTLK PCB
Lid hinge
Heater lift assy
Gas: N2
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE est un réacteur semi-conducteur conçu pour permettre aux clients d'obtenir des plaquettes complètes plus minces et un dépôt de film uniforme. Le réacteur est idéal pour produire des circuits super intégrés et des dispositifs de mémoire avancés. Le réacteur utilise des niveaux élevés de contrôle de processus pour assurer des plaquettes fiables et reproductibles. La chambre de procédé est construite avec un revêtement en acier inoxydable pour la durabilité et la reconfiguration facile. La chambre intègre également des systèmes de vide industriel et des fenêtres isolées. Cette isolation permet de réduire les pertes d'énergie, ce qui conduit à une meilleure maîtrise des procédés. La chambre offre également un meilleur chargement/déchargement des plaquettes et un meilleur pré-alignement des substrats. La chambre de procédé est équipée d'un désactivateur pour assurer un nettoyage optimal entre les différentes séries de plaquettes. L'outil dispose d'un équipement de contrôle à double zone avancé avec un système de désactivation rotatif et une unité de désactivation statique. Cette machine permet des recettes de processus supérieures qui peuvent être ajustées pour obtenir un rendement et des performances maximales. Le réacteur est équipé d'une zone isolée pour réduire le risque de contamination par les procédés de la tranche à la tranche. Il dispose d'un générateur de plasma in-situ avancé avec une architecture de contrôle hautement configurable. Cette fonctionnalité plasma in situ augmente les rendements des processus en diminuant la quantité de variables associées au nettoyage des plaquettes. La conception de la paroi chaude du réacteur atteint des températures élevées avec de faibles gradients thermiques. Il fournit un contrôle précis de la température sur les petits substrats et génère une homogénéité thermique supérieure sur les grands substrats. La paroi chaude permet également une meilleure utilisation de l'énergie. L'outil sous vide utilisé sur le réacteur AMAT Producer SE assure que les plaquettes sont traitées dans des conditions de vide précises. L'actif sous vide utilise une combinaison de turbopropulseurs, une pompe à aubes rotatives et une pompe d'appoint mécanique. La combinaison garantit des niveaux élevés de stabilité et de répétabilité du procédé. Le réacteur est équipé d'un modèle avancé de surveillance à distance qui fournit des diagnostics en temps réel et l'accès aux données. Il fournit également des registres de processus détaillés pour simplifier les opérations et maintenir la performance de l'équipement. L'équipement de surveillance à distance permet également d'améliorer le dépannage et les optimisations de processus.
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