Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9239732 à vendre en France
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ID: 9239732
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
CVD System, 12"
Process: ACL
Sub process: HT ACL
SMIF / FOUP
(2) Twin chambers
Chemical: C3H6, NF3
AC Rack
EFEM
Rear monitor
Monitor rack
FFU Panel
Signal cable box
Load module:
(2) Load ports TDK E4
BROOKS MAC8 Loader arm
ALCATEL A100L Dry pump
Transfer module (Platform):
Transfer arm (Robot) BROOKS MAG8
ALCATEL A100L Dry pump
Process module:
(2) Chambers
(2) ALCATEL ADS 1202H Pumps
(2) NPP NPR-S10L RF Generators
(2) Gas boxes
(3) IBM X306 PC
Utility:
Distribution panel
ETC
Gases: CH36, NF3, N2, AR, HE
Operating system: Windows
2007 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE (électrode de substrat) est un outil de fabrication de semi-conducteurs conçu pour appliquer un matériau électriquement conducteur à la surface d'un substrat. Il utilise le dépôt électrochimique - la capacité électrolytique d'un liquide à déposer du matériau solide sur un substrat - pour obtenir le dépôt cohérent, fiable et hautement répétable de couches uniformes et précises de matériau conducteur. AMAT Producer SE dispose d'une chambre de qualité salle blanche qui fournit un environnement cohérent pour le processus de dépôt. Une électrode cible (anode) est située directement au-dessus du porte-substrat (cathode) dans une zone contenue remplie de solution d'électrolyte, et un fort courant est entraíné à travers la solution pour permettre le dépôt électrochimique du matériau désiré. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE protège l'électrolyte liquide de la contamination et de l'évaporation avec son fonctionnement par lots. Il est également bien adapté pour le fonctionnement automatisé et l'intégration avec une ligne d'assemblage. Pour une homogénéité uniforme, la chambre utilise des caractéristiques d'agitation et une pale d'agitation pour favoriser une répartition uniforme du matériau sur le substrat cible. Le temps de cycle pour chaque processus est très fiable, de sorte que l'opérateur n'est pas tenu de calculer ou d'ajuster les variables pendant le cycle de dépôt. Les propriétés du matériau appliqué sont également très reproductibles, et le contrôle géométrique pointu de l'applicateur permet de créer des caractéristiques minces et serrées. Les outils ont également une résolution et une précision de microns. MATÉRIAUX APPLIQUÉS/Producteur SE fournit un système de dépôt électrochimique haut de gamme (DCE) robuste avec de nombreuses fonctionnalités, des temps de cycle rapide et la capacité de contrôle de la température à l'utilisation de gaz inertes supplémentaires pour améliorer les capacités de traitement. En outre, l'outil est un moyen efficace d'obtenir des résultats de haute qualité, reproductibles et reproductibles avec un large éventail de matériaux tels que le cuivre, l'or, l'aluminium et divers autres oxydes métalliques. Pour plus de complexité du processus, sa capacité à supporter le repli, l'arrêt de la gravure, la planarisation et le dépôt de billes de bord, permet d'augmenter la répétabilité du processus. Le système est également entretenu et entretenu par le partenaire du service client AMAT/APPLIED MATERIALS, Enviro-Tech. Enviro-Tech utilise une combinaison d'entretien de routine de diagnostic avancé et de réparations pour les systèmes AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE. Ces services aident à maintenir la performance supérieure de l'outil et la performance constante des processus. En outre, les ingénieurs d'Enviro-Tech offrent une formation à l'utilisation du système et développent de nouvelles recettes de dépôt avec AMAT Producer SE.
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