Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9251465 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE est un réacteur automatisé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) qui est unique en raison de ses caractéristiques intégrées et avancées de contrôle des processus. AMAT Producer SE fournit une solution optimale pour le dépôt de matériaux à bas et haut k ainsi que pour la synthèse d'alliages semi-conducteurs composés tels que GaAs et InGaAs. La conception du réacteur permet un dépôt fiable et uniforme sur une large gamme de paramètres de dépôt et offre une empreinte ultra-compacte pour une intégration serrée dans les systèmes de fabrication des clients. Le réacteur se compose d'une chambre de dépôt avec quatre alimentations électriques distinctes pour le chauffage, le refroidissement et les entrées de creuset et d'un suscepteur arrière. La chambre est conçue pour atteindre une température maximale de fonctionnement de 1200 ° C et maintenir un vide de base jusqu'à 10-7 mbar avec une pompe mécanique turbo-moléculaire. Les flux gazeux régulés de réactifs sont livrés avec précision à la chambre de dépôt par un système de distribution de gaz à partir de sources d'entrée intégrées. Le creuset est réalisé en tungstène et molybdène et permet d'atteindre des températures allant jusqu'à 2000 ° C Le suscepteur arrière est en graphite et comprend également une plaque chauffante pour permettre un chauffage équilibré du réactif solide. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE comprend plusieurs caractéristiques uniques pour améliorer la stabilité, l'uniformité et la fiabilité du procédé. Par exemple, le producteur comprend un suscepteur à température contrôlée qui peut ajuster automatiquement la pression et les débits pour permettre une plus grande stabilité du processus. Le réacteur comporte également un système de chauffage multi-zones qui isole chacune des quatre chambres pour éviter la contamination croisée entre réactifs. Ce système multi-zones permet également une plus grande homogénéité du profil de température du substrat tout en se déposant sur des substrats plus importants. De plus, le producteur SE est équipé d'un refroidissement intégré pour réduire encore les gradients thermiques le long du substrat. Le réacteur est également équipé de systèmes de sécurité avancés tels qu'un bouton d'urgence pour arrêter le processus, un système de chasse à base d'halocarbure et des systèmes de soupapes de sécurité pour protéger les opérateurs et l'environnement environnant. De plus, le réacteur est capable de stocker jusqu'à huit recettes pour permettre un cycle rapide des paramètres du processus de dépôt. Le contrôleur hors ligne intégré permet de contrôler à distance le réacteur à partir d'un seul endroit pour éviter les erreurs manuelles et réduire le temps d'installation. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE est un réacteur CVD automatisé robuste et fiable qui peut être utilisé pour un large éventail de procédés de dépôt et permet une plus grande uniformité et stabilité du procédé. Ainsi, AMAT Producer SE peut être utilisé pour déposer rapidement et de manière fiable une large gamme de matériaux et d'alliages dans l'industrie des semi-conducteurs.