Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9274481 à vendre en France
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ID: 9274481
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2009
CVD System, 12"
Process type: LowK (BDII)
UV Cure chamber
VHP Robot
(3) Chambers
LDS Unichem 3200
ESR20N Pump
Accessories:
SMC H2000 Chiller
Ozone rack
UV Rack with (4) UV Power supplies
(2) Abatements
(2) FUJIFILM Genstreams
Pumps:
(2) EST500WN
A1503H
ADP122
ASTEX AX8403 Ozone generator
Apex 3000 Generator
MPS2-610V UV Power supply
2009 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE est un équipement de dépôt performant qui permet le dépôt de matériaux diélectriques, métalliques et autres sur des substrats dans un large éventail de géométries de procédés. Le système utilise une plate-forme multi-sources propriétaire pour fournir l'uniformité exceptionnelle, l'uniformité de température, l'appariement de vitesse et la répétabilité pour toutes les étapes du processus. Il est conçu et entièrement automatisé pour être utilisé dans les lignes de production à procédés multiples, y compris, mais sans s'y limiter, le dépôt physique en phase vapeur (PVD), le dépôt par pulvérisation et le dépôt chimique en phase vapeur. AMAT Producer SE permet une contamination des substrats exceptionnellement faible et une non-uniformité des plaquettes tout en assurant un débit, une répétabilité et une précision de contrôle élevés. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La plate-forme productrice SE se compose de plusieurs modules, dont un ordinateur central, un évaporateur, un épurateur et une alimentation électrique. L'ordinateur central agit comme l'unité centrale de contrôle de la plate-forme et se compose d'un ordinateur et d'un logiciel, qui contrôle l'ensemble de la machine. Le module évaporateur est utilisé pour le dépôt de surface de plaquettes, qui utilise des composants de qualité industrielle standard pour fournir un débit et des procédés cohérents, tout en obtenant une excellente uniformité de substrat. Le module d'épuration est utilisé pour le nettoyage des gaz d'échappement de la chambre de procédé pour accueillir une variété de processus différents. Le module d'alimentation est utilisé pour commander la puissance du module évaporateur. L'outil comprend également plusieurs fonctionnalités qui garantissent une flexibilité maximale du processus, une répétabilité et un contrôle précis. L'actif est équipé d'une conception de bain ouvert, de fours à procédés multiples et de capacités avancées de levage de plaquettes. La plate-forme à sources multiples permet de déposer plusieurs couches de matériaux en une seule passe, en fournissant des vitesses de dépôt maximales. Le modèle offre également une capacité de filtrage des particules réglable, ce qui assure l'uniformité du processus de dépôt auto-limité. De plus, Producer SE possède une fonction d'étalonnage unique, qui permet un contrôle précis du taux d'évaporation, de l'uniformité de l'épaisseur et de la qualité du dépôt. AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE est extrêmement polyvalent et peut fournir des résultats de dépôt optimaux dans un large éventail d'applications, y compris les technologies d'affichage, les interconnexions de semi-conducteurs, les supports d'enregistrement magnétique et les applications en couches minces. Cet équipement est très fiable, avec une excellente tolérance aux défauts intégrée dans tout le système, et une large gamme de paramètres de processus qui sont adaptés pour assurer les résultats de dépôt les plus précis. En conséquence, AMAT Producer SE offre une performance et une répétabilité exceptionnelles, ce qui le rend idéal pour les environnements de production à haut volume.
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