Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9280399 à vendre en France
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ID: 9280399
Taille de la plaquette: 12"
CVD System, 12"
(3) Chambers
Process:
SiCOH
U LowK dielectric.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE est conçu comme un réacteur de gravure à semi-conducteur qui est utilisé pour graver ou retirer précisément des matériaux spécifiques de la surface d'un substrat avec le moins de dommages. Ce réacteur peut faciliter la fabrication de caractéristiques très précises avec un contrôle dimensionnel et électrique amélioré à l'aide d'une variété de procédés de gravure. Il est équipé d'un équipement sous vide pour maintenir un environnement de processus stable et cohérent, et d'un moniteur à cristaux de silicium embarqué qui fournit un contrôle précis de la température et de la puissance. Le réacteur utilise une gamme de technologies puissantes pour créer les caractéristiques et les effets souhaités, y compris l'implantation ionique, la gravure photorésist, et le décapage photorésist. Sa source de plasma intégrée et sa source unique de plaquettes offrent une capacité de gravure dans un large éventail de matériaux, y compris une variété de métaux et de plastiques. Le système de balayage en écriture directe prend en charge la modélisation complexe pour les niveaux les plus élevés d'automatisation et de précision. Cette unité permet un contrôle avancé des processus pour obtenir des résultats de processus reproductibles et précis. Le réacteur est livré avec une chambre à vide qui est capable de maintenir des niveaux de vide élevés, permettant le transport de matériaux efficaces et la gravure. Il offre un excellent contrôle des processus avec une distribution précise du gaz, des énergies ioniques et des énergies ioniques, permettant aux utilisateurs de contrôler avec précision le taux de gravure de leur matériau ciblé. De plus, une machine de détection du point d'extrémité permet d'obtenir des résultats de processus reproductibles, assurant la cohérence du dispositif final. AMAT Producer SE est conçu pour un fonctionnement sûr et efficace dans des environnements de production à haut volume. Sa conception de refroidissement exclusive comprend deux étages linéaires refroidis à l'eau, permettant d'amorcer et de refroidir rapidement le substrat. Son outil sous vide avancé est capable de manipuler des densités de particules élevées, assurant la performance fiable de tous les processus. La chambre de réaction intégrée fournit des taux de dilution uniformes avec un profil de température constant sur la surface du substrat. En outre, il offre un contrôle de pression pour réduire le transport des matériaux, un débit de gaz constant au cours du processus et une vitesse de pompage uniforme. Cela garantit une excellente uniformité de gravure, ce qui permet d'obtenir des profils de gravure précis et des caractéristiques précises de l'appareil. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'actif Producteur SE offre un ensemble complet de fonctionnalités et de capacités qui permettent d'améliorer les performances de fabrication des semi-conducteurs et le contrôle des conditions de gravure. De la maximisation de l'uniformité à l'optimisation des rendements, il s'agit d'une solution de réacteur de gravure fiable, efficace et rentable adaptée à divers types d'applications.
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