Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9280551 à vendre en France
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ID: 9280551
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
CVD System, 12"
Process: NBLOK
(3) Chambers
(6) RF Generators
FOUP Interface
(2) KAWASAKI FI Robots
VHP Buffer robot
A-Box
SMC Heat exchanger
Missing / Faulty parts:
(2) FI Robot blades
Delta Tau CPU Board
(2) LL Heater lift drivers
SECS, GEM
2003 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE (AMAT) est un réacteur à haut débit de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) utilisé pour le dépôt conforme précis de couches minces sur une variété de substrats. Le réacteur est bien adapté à la réalisation de couches minces à hautes propriétés optiques, électriques ou thermiques, qui sont souvent utilisées dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, de batteries à couches minces, d'afficheurs et d'autres composants. AMAT Producer SE utilise une alimentation avancée de redresseur à commande en silicium pulsé (SCR) pour générer des formes d'impulsions précises et répétables, permettant un contrôle précis de la chimie du plasma et de la vapeur pendant le processus CVD. Son système intégré de mélange de gaz permet de délivrer un mélange de gaz réactifs avec une grande précision pour être utilisé dans le processus de dépôt. De plus, une technique de régulation de température à double zone permet de régler des températures différentes pour le substrat et son environnement environnant. La chambre de procédé personnalisable de APPLIED MATERIALS Producer SE a un volume de moins de 2 000 centimètres cubes, ce qui lui permet de supporter des substrats d'une taille allant jusqu'à 10 pouces. La chambre a une plage de pression de travail de 25-50 millitorr et est conçu pour limiter l'effet de gaz parasite et assurer des niveaux de vide élevés. De plus, la conception de flux transversal de la chambre de procédé assure une uniformité optimale du dépôt et améliore la productivité et le rendement du procédé. Les caractéristiques avancées du producteur SE permettent de produire une grande variété de films, des films de cuivre à faible résistivité aux oxydes d'aluminium conducteurs semi-transparents. Il peut fournir jusqu'à quatre couches de matériaux avec des compositions uniques et des structures cristallines. Les paramètres de processus répétables du système garantissent des films minces reproductibles à haute performance avec une cohérence de qualité. La flexibilité et la précision du procédé combinées à l'évolutivité du réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE en font un outil idéal pour les fabricants des industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Ses capacités de traitement inégalées permettent de produire des composants performants avec des rendements de pointe et un bon rapport coût-efficacité.
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