Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9281300 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9281300
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
CVD System, 12"
(3) Chambers
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur SE producteur est un amas monobloc de gaz à source ionique réactive ion etcher (RIE) spécifiquement conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement intègre les technologies de pointe de production et de contrôle de plasma basées sur un flux plasmatique sans entraves induit par l'hyper-champ, des densités ioniques élevées et une distribution uniforme de l'énergie plasmatique pour améliorer les processus. La technologie d'ionisation à faible impédance assistée magnétiquement (AMI) permet une flexibilité accrue du procédé et des performances améliorées. Le système a également une excellente productivité due à la source couplée inductivement. Avec son interface d'équipement à base de PC très avancée, AMAT Producer SE combine un contrôle d'équipement entièrement automatisé et des capacités d'utilisateurs multiples. Il dispose d'une capacité avancée d'optimisation des processus qui réduit considérablement le temps et les ressources nécessaires pour la mise en place de la recette et les améliorations opérationnelles. Ceci est activé grâce à des applications logicielles sophistiquées qui contrôlent des paramètres tels que les rapports de débit de gaz, la pression, la température et le timing. Les fonctions d'implant par lots et de procédé de gravure FEOL (Front End of Line) le rendent très facile à utiliser et peut être appliqué à diverses applications de dépôt chimique en phase vapeur, d'implantation ionique et de gravure post-implantation. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE est équipé d'un ensemble puissant et indépendant de canons à ions cristallins chargés qui délivrent des densités d'ions élevées. L'unité brevetée de distribution de gaz haute vitesse à couplage étroit de la SE fournit des rapports précis de gaz pour le contrôle de processus de haute précision. Son implantation unique en mode double accélère le processus en permettant aux séquences de gravure et d'implantation de se produire simultanément. La productivité est encore améliorée par le temps de réaction rapide de la machine à impulsion de gaz RIE qui ajuste automatiquement les conditions plasmatiques pour une efficacité maximale. L'outil de manutention des substrats bi-mode et split-mode du producteur SE offre une flexibilité sans précédent avec la possibilité de choisir différentes configurations de chambres. L'actif dispose également de capacités avancées de surveillance des processus avec ProPlasma, qui fournit des données en temps réel sur les caractéristiques du plasma, la performance des processus de gravure et la composition des espèces atomiques. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE est un outil fiable et éprouvé conçu pour répondre aux besoins des fabricants de semi-conducteurs dans la réalisation d'une production efficace, de haute qualité et rentable. Grâce à ses fonctions de réglage et de contrôle avancées, la SE offre une solution rentable pour les besoins complexes de fabrication d'appareils d'aujourd'hui.
Il n'y a pas encore de critiques