Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9294355 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE est un équipement de dépôt épitaxié de pointe conçu pour les chercheurs, les fabricants et les utilisateurs universitaires de semi-conducteurs. Il offre un large éventail de procédés de dépôt et de gravure combinés avec des capacités de contrôle et de surveillance in situ précises. Le système est équipé d'une chambre de dépôt chimique en phase vapeur (E-CVD) et d'une chambre de gravure diélectrique. AMAT Producer SE peut déposer divers matériaux III-V tels que GaAs et InP, ainsi que SiO2 et Si3N4. Le processus de dépôt est soutenu par des chauffages à haut rendement permettant une distorsion thermique minimale pendant la croissance pour obtenir des épilayers de meilleure qualité. La chambre est conçue pour assurer un dépôt uniforme sur de grandes surfaces (jusqu'à 4 pouces de diamètre de plaquette). MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE est équipé d'une unité épi-moniteur avancée dédiée à la caractérisation in situ des couches pendant le processus de dépôt. Cette machine comprend de multiples techniques de micro-spectroscopie in situ orthogonales telles que la tension de courant induite par laser (ou IV), la canalisation ionique, la photoluminescence (PL) et la microscopie à force atomique (AFM). Ceci permet de contrôler en temps réel le processus de croissance épitaxiale, permettant d'optimiser la qualité de la couche et l'uniformité sur l'ensemble du substrat. De plus, l'outil est équipé d'une chambre de gravure diélectrique télécommandée avec une large gamme de gaz de gravure compatibles. Cette chambre est équipée de sources de source de plasma direct, assurant un contrôle précis du débit de gaz de procédé, de la puissance de gravure et de la température du substrat. Ceci permet une gravure précise de différents matériaux diélectriques, tels que l'oxynitrure, le SiO2 et le Si3N4, pour des applications à haut rapport d'aspect. Producteur SE est un actif facile à utiliser et très fiable, fournissant d'excellentes capacités de contrôle des processus et de caractérisation des couches. Avec ses capacités de gravure et de dépôt de haute précision combinées à des capacités de surveillance in situ, AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE est un outil idéal pour les chercheurs et les fabricants qui doivent produire des couches épitaxiales de haute qualité à grande échelle.