Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9315106 à vendre en France
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ID: 9315106
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
CVD System, 12"
2005 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur producteur SE (Spin-on Epi) est un système de dépôt d'épi de pointe utilisé pour le dépôt de couches minces dans des applications industrielles et de recherche. AMAT Producer SE propose un nouveau design révolutionnaire qui profite de modules facilement extensibles. Cela permet de personnaliser le processus de dépôt et de l'adapter aux besoins spécifiques avec un maximum de souplesse, de qualité et de rentabilité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur SE soutient la fabrication directe de plaquettes, permettant le transfert direct de substrats entre les chambres de traitement sans pénétrer dans un environnement de salle blanche. Le réacteur peut être interfacé avec les procédés existants en amont et en aval, fournissant une solution de dépôt en couches minces entièrement intégrée. La chambre du réacteur est en acier inoxydable et conçue pour le dépôt de jusqu'à deux plaquettes à la fois. Il est scellé à des niveaux de vide aussi bas que 5 × 10-7 Torr et utilise le chauffage de substrat à deux ou trois zones. L'option à deux zones prend en charge le transport par cassette unique, tandis que l'option à trois zones prend en charge le transport bidirectionnel par cassette pour deux cassettes en même temps. Le cœur du producteur SE est le module source de dépôt, qui est conçu pour accueillir tous les types de matériaux de dépôt. Le module source contrôlé par logiciel prend en charge un large éventail de séquences de processus, allant de simples ALD (Atomic Layer Deposition) à des processus complexes et séquencés en plusieurs étapes. AMAT/APPLIED MATERIALS Producteur SE dispose également d'un excellent système de surveillance et de contrôle in situ, permettant aux utilisateurs finaux d'examiner le contrôle réel des effluents en temps réel, ainsi que des fonctions d'alarme en cas d'urgence. En outre, le réacteur est équipé d'une interface graphique avancée, mais conviviale, qui est utilisée pour accéder aux recettes standard pour diverses applications en couches minces. Grâce à cette caractéristique, le processus de dépôt réel peut être surveillé et contrôlé à partir d'un poste de travail distant. En plus de soutenir des recettes définies par l'utilisateur, AMAT Producer SE fournit également plus de 400 recettes prédéfinies spécifiques à l'équipement pour des applications populaires, y compris SiN, SiC, SiOx, nitrure, diélectrique, et une foule d'autres films. Dans l'ensemble, LES MATÉRIAUX APPLIQUÉS Producteur SE est un réacteur haut de gamme et économique, conçu pour répondre aux besoins des petites et des grandes entreprises. Il est facile à utiliser, offre des performances de dépôt de couches minces supérieures et a la souplesse nécessaire pour être adapté à diverses exigences d'application. En outre, son système de suivi et de contrôle en temps réel facilite l'optimisation rapide des processus et l'assurance de la qualité, ce qui en fait un choix idéal tant pour la recherche que pour les applications industrielles.
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