Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9361863 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur SE est un réacteur semi-conducteur avancé conçu pour offrir une vitesse de gravure, une uniformité et une flexibilité maximales. Il est idéal pour les applications à haut débit dans la production de masse de plaquettes semi-conductrices. Au cœur d'AMAT Producer SE se trouve son équipement amélioré de régulation de température (ETC) qui est optimisé pour un débit élevé avec 4 chambres de traitement : dépôt, gravure, cendre et refroidissement. Ce système est capable d'assurer un contrôle précis de la température et de maintenir le profil thermique optimal pour chaque chambre individuelle. L'unité PECVD (plasma-enhanced chemical-vapor deposition) est utilisée pour le processus de dépôt dans APPLIED MATERIALS Producer SE. Ceci utilise un plasma commandé par radiofréquence pour déposer une couche uniforme de matériau à grande vitesse, en utilisant le bombardement électronique d'un mélange gazeux sous vide. Il peut s'agir de matériaux tels que le nitrure de silicium, le dioxyde de silicium, les diélectriques bas k ou haut k. La chambre de gravure sèche du producteur SE est l'endroit où a lieu la gravure du matériau. Il est optimisé pour les applications à haut débit et utilise un plasma à couplage inductif (ICP) piloté par des radiofréquences de forte puissance. Cela permet un processus de gravure précis et uniforme avec des effets de charge minimaux et une contamination minimale des particules. Le processus de gravure à l'eau forte peut aussi inclure l'utilisation d'un 400W ICP gravent le réacteur à l'eau forte avec les seuils multiples pour tenir compte différent gravent des processus à l'eau forte sur les structures 3D extrêmement complexes. Après le dépôt des matériaux transformés, le processus de cueillette a lieu dans AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE. Ceci implique l'élimination à haute température des couches déposées et peut atteindre des températures allant jusqu'à 1000 ° C Cela permet d'assurer des films propres et une régénération efficace des films minces pour un traitement ultérieur. Enfin, la chambre de refroidissement d'AMAT Producer SE est conçue pour refroidir la plaquette rapidement mais soigneusement. Cette étape de refroidissement est importante car le profil thermique de la plaquette influe sur les résultats du processus. Ceci est optimisé pour un refroidissement maximal en un temps minimal et est conçu pour réduire les contraintes thermiques et augmenter les rendements et les performances des plaquettes. En fin de compte, APPLIED MATERIALS Producer SE est un réacteur semi-conducteur avancé conçu pour offrir une vitesse de gravure, une uniformité et une flexibilité maximales. Sa machine de régulation de température améliorée et ses chambres de dépôt, de gravure, de cendrage et de refroidissement optimisées fournissent le débit maximal pour des structures 3D complexes tout en minimisant la contamination des particules et en maintenant des profils thermiques pour des performances optimales.