Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9390853 à vendre en France
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ID: 9390853
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
PECVD System, 12"
Process: APF
(2) Load ports
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 208 AC, 3 Phase
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE Reactor est un réacteur hautement efficace conçu pour la production à petite échelle de procédés de dépôt électrochimique de métaux, d'alliages et d'autres matériaux. L'équipement dispose d'une alimentation haute performance pour un contrôle précis et reproductible des processus et d'une plate-forme fiable et durable pour assurer un temps de fonctionnement ininterrompu. Le système comprend une source de dépôt à verrouillage de charge, induite par faisceau d'ions, assurant une répartition uniforme du matériau source sur le substrat. La pression de la chambre réglable permet un contrôle précis des paramètres du procédé tout au long du dépôt. Les conditions de vide élevé permettent également l'utilisation efficace de matières premières peu coûteuses, telles que les sources de métaux et d'halogénures métalliques. Le coeur de l'unité est une chambre monobloc qui peut être configurée pour une variété de procédés de substrat, y compris le balayage linéaire et le dépôt en rampe, le dépôt par étapes et les procédés dépendants du temps. Des options polyvalentes permettent un contrôle automatisé de l'ensemble du processus, du faisceau d'ions au point de dépôt, en passant par la température et les potentiels du substrat. La chambre dispose également d'une rotation de substrat entièrement réglable et d'un choix d'options d'isolement ou de refroidissement. Le réacteur est équipé d'une machine intégrée semi-fermée de contrôle des processus et d'assurance de la qualité (PCQA) conçue pour garantir des résultats cohérents et reproductibles. L'outil dispose de plusieurs capteurs pour surveiller et contrôler les paramètres du processus en temps réel, fournissant des capacités avancées de surveillance du processus. L'actif peut également être intégré à un modèle de surveillance en temps réel pour fournir une rétroaction sur les particules en retrait, l'épaisseur du film, la composition et l'analyse des défauts de surface. L'équipement peut être adapté à un large éventail d'objectifs de production, allant des plaquettes monobloc d'aujourd'hui aux substrats de panneaux avancés et au-delà. Cette modularité permet un fonctionnement évolutif qui optimise les rendements de production, le rapport coût-efficacité et une augmentation globale de l'assurance qualité. Le processus complet est également optimisé pour la sécurité avec l'inclusion d'un système de détection de gaz et d'une technologie de contrôle avancée pour contrôler les événements plasmatiques et flashover. De plus, une unité d'étalonnage automatisée fournit une rétroaction constante sur les paramètres du processus pour assurer le contrôle le plus serré du processus. AMAT Producer SE Reactor est une machine innovante de contrôle des procédés et de dépôt conçue pour un large éventail d'exigences de production. L'outil allie une flexibilité exceptionnelle, un débit élevé et une meilleure cohérence des processus, ce qui en fait une solution idéale pour les environnements de production exigeants d'aujourd'hui.
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