Occasion VEECO / EMCORE E300 #9265825 à vendre en France

Le réacteur VEECO/EMCORE E300 est un système de dépôt à semi-conducteur perfectionné conçu pour tenir compte des dernières avancées des technologies de dépôt. Il s'agit d'une plate-forme d'outils modulaire avec un matériel modulaire entièrement intégré, supportant un large éventail de processus, y compris le dépôt physique en phase vapeur (PVD), le PVD assisté par électrons (e-PVD), le dépôt de couche atomique renforcée par plasma (PEALD) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Le matériel modulaire comprend une chambre modulaire produite en série, une grande sélection de sources internes de faisceau d'ions et une large gamme de sources de processus à haute énergie et à fort courant. Il comprend également des systèmes avancés de contrôle des gaz et des procédés pour un contrôle des procédés fiable et performant. Le réacteur VEECO E300 supporte les dépôts thermiques et à faisceau électronique, ainsi que la surveillance et le contrôle in situ des films en fin de ligne. Son architecture permet un démarrage des processus tout aussi rapide, ainsi qu'un contrôle précis des processus in situ. Ceci est crucial pour la fabrication d'appareils haut de gamme, où un contrôle précis des films actifs électroniquement peut avoir un impact majeur sur les performances des appareils. De plus, le réacteur EMCORE E300 possède une capacité avancée de contrôle du plasma, y compris la capacité de délivrer du plasma d'oxygène ou d'azote à basse énergie au substrat. Le système peut également effectuer étape/flash lithographie et soulèvement, et supporte substrats et plaquettes jusqu'à 200 mm de taille. En outre, E300 réacteur est équipé d'une gamme complète de capacités de visualisation optique, y compris un microscope d'environnement haute résolution et haute définition. Ceci fournit à l'utilisateur une imagerie en temps réel de la formation de couches minces, permettant une meilleure caractérisation des couches et/ou une surveillance des processus. VEECO/EMCORE E300 offre une excellente uniformité thermique et la compatibilité avec pratiquement tous les gaz de procédé, ce qui le rend idéal pour la production de films de haute qualité et à haut rapport d'aspect. Tous ces facteurs se combinent pour faire de VEECO E300 l'une des premières solutions pour l'intégration avancée des processus en couches minces.