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BW3000
Wet station, 12" I-Type (50) Wafers Bath configuration: B/P, C/W, SPM, SPM, HQDR1, LAL15, OF, SC1,
462
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BW3000
Wet station, 12" F-Type (50) Wafers Bath configuration: L/D, L/R, C/W, HS1, HS2, HQDR1, SC1 (1), S
447
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BW3000
Wet station, 12" F-Type (50) Wafers Bath configuration: L/D, L/R, C/W, SOL1, SOL2, IPA / DIW, QDR,
432
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BW3000
Wet station, 12" I-Type (50) Wafers Bath configuration: B/P, C/W, SOL1, SOL2, IPA / DIW, QDR, F/R,
452
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BW3000
Wet station, 12" F-Type (50) Wafers Bath configuration: L/D, L/R, C/W, SOL1, SOL2, IPA / DIW, QDR,
433
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BW3000
Wet station, 12" I-Type (50) Wafers Bath configuration: B/P, C/W, HF, OF, SPM, HQDR1, SC1, HQDR2,
394
