Occasion VEECO Spector HBDG #293645262 à vendre en France
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ID: 293645262
Style Vintage: 1996
Dual ion beam deposition system
Ion beam deposition system
Horizontal beam, dual gun (HBDG)
IBAD Processing
R&D Size
Dry roughing pump for enhanced UV optical film performance
RF Ion sources with PB neutralizers
Standard vacuum instrumentation via ITAVS
Split drum style chamber
(4) Round targets
External substrate rotation
CTI Cryotorr 10IIRC pump
IC4+
(2) Ion 6cm guns
Plasma bridge neutralizers
5" targets
(4) Position water cooled target carousel with gas flood
Substrate stage: 6"
Water cooled
Rotation
90-0-90 tilt
Currently warehoused
1996 vintage.
VEECO Spector HBDG est un système de pulvérisation à haute puissance conçu pour créer des films minces de haute qualité avec un contrôle précis de l'épaisseur du film, de la vitesse de dépôt et de l'uniformité. Le système comprend une chambre de base, une chambre cible, des alimentations à haute tension et des pompes à vide. La chambre de base est une chambre à vide de forme rectangulaire pour le montage de trois sources de pulvérisation magnétron. Les sources de pulvérisation sont connectées à une alimentation à haute tension apte, permettant un contrôle précis des tensions. Les cibles sont montées dans la chambre de visée, qui contient des parois isolantes et une étagère interne refroidie pour maintenir les cibles à basse température. La pression dans les deux chambres est maintenue en reliant les chambres à deux pompes à vide réglables à toute pression désirée. Au début du processus de pulvérisation, la chambre est évacuée à basse pression et les cibles sont chauffées jusqu'à ce que leur température atteigne le niveau requis. Les cibles sont alors exposées à un fort champ électrique, créé par l'alimentation haute tension, provoquant l'émission d'électrons. Lorsque les électrons atteignent la surface de la cible, ils provoquent l'éjection des atomes du matériau cible, formant un plasma ionisé. Le plasma est ensuite accéléré en étant exposé à une haute tension, créant un faisceau d'ions qui se déplace vers le substrat. Le processus de dépôt des pulvérisateurs est soigneusement surveillé à l'aide de spectromètres et d'autres détecteurs. Ceci permet d'ajuster le procédé pour optimiser la qualité des couches minces et améliorer l'uniformité de leur épaisseur. Spector HBDG est idéal pour créer des films minces de haute qualité et uniformité. Il est utilisé dans diverses applications, notamment les cellules solaires, les transistors à couches minces, les dispositifs MEMS et les technologies d'affichage.
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