Occasion LEITZ LIS #9283430 à vendre en France
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LEITZ LIS (Laser-Enhanced Image Metrology Equipment) est un système d'essai et de métrologie de plaquettes utilisé pour analyser la surface de puces ou de plaquettes à semi-conducteurs à l'échelle d'un micro ou d'un nanomètre. L'unité fournit une analyse puissante, sophistiquée et précise de la forme, de la structure et de la fonctionnalité des dispositifs semi-conducteurs hautement complexes, et peut effectuer une variété de mesures, y compris détecter et caractériser la topographie de surface, la texture, la contamination de surface, les défauts et la précision de recouvrement. LIS est basé sur la combinaison de la microscopie optique confocale avec interférence laser comme capteurs principaux. Le microscope confocal utilise un faisceau laser à haute résolution pour balayer la surface de la plaquette à des résolutions allant jusqu'à 0,2 µm/pixel. Les techniques d'interférence laser et de cisaillement utilisées utilisent deux faisceaux laser pour mesurer la hauteur relative de la surface. La machine utilise des algorithmes de traitement d'image à grande vitesse pour calculer les morphologies de surface tridimensionnelles (3D) et en tirer des paramètres critiques tels que le profil de surface, les hauteurs de pas, la profondeur de jonction et la précision de recouvrement. Les capacités d'analyse de l'outil peuvent être étendues à l'aide de modules personnalisés pour des applications spécifiques. Ces modules permettent aux utilisateurs de mesurer différents paramètres tels que la rugosité de surface, la classification des défauts de surface, la détection de particules ou l'analyse de résistivité. LEITZ LIS dispose également d'un logiciel puissant pour la collecte, l'affichage et l'analyse de données en temps réel. L'interface utilisateur intuitive offre une gamme d'options analytiques avancées et la capacité d'exporter et de stocker des données pour un examen et une comparaison ultérieurs. En outre, les utilisateurs peuvent accéder au modèle à distance depuis n'importe quel ordinateur, ce qui leur permet de surveiller et de contrôler leur analyse depuis n'importe quel endroit. LIS est un équipement très polyvalent et fiable utilisé dans de nombreuses applications de recherche, de développement et de production. Avec sa haute résolution d'image et des mesures 3D précises, le système permet aux utilisateurs d'analyser les caractéristiques complexes des micro et nanomètres avec facilité et précision. Cela en fait l'outil idéal pour caractériser et vérifier la qualité des dispositifs semi-conducteurs modernes.
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