Occasion NANOMETRICS NanoSpec 9000b #9361379 à vendre en France
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ID: 9361379
Style Vintage: 2007
Thin film measurement system
Polarized / Normal-incidence spectroscopic ellipsometry:
Non-contact / Optical critical dimension
Wavelength range: 320-780 nm
DUV-Visible spectroscopic reflectometry:
Single / Multi-layer film thickness measurements
N&K Film optical properties and reflectance
Wavelength range: 190-780 nm
High throughput R/Θ/Z stage
N2000 User interface compliant to SEMI (E95-0200)
Measurement capabilities:
N&K Film optical properties
Single and multi-layer film thickness
Line width / Space
Sidewall angle
Line height
Line profile
Lithography applications:
Film thickness of BARC and photoresist
N&K
Copper CMP applications:
Low K thin film thickness
Barrier thickness (TaN)
Block
Erosion
Residuals
Oxide CMP applications:
Very thin film thickness (<100 Å)
ONO and NO Film stacks
Film thickness over arrays
Residuals
Si Etch applications:
Poly or WSi gate profiles
STI Profile
2D Structures and arrays
Dielectric etch applications:
Nitride and oxide film thickness
Low-K thickness
Damascene trench profile
DUV to Visible reflectometer
Normal incidence spectroscopic ellipsometry with R/Θ/Z stage
Operating system: Windows XP
Automatic focus
Optical non-contact pre-aligner (Centering and notch / Flat finder)
Wafer handling: Flat chuck
GEM/SECS (RS-232 or HSMS)
Feed location backside
Vacuum flow rate: G 533.4 mm Hg at 15 l/min
Line size: 6.35 mm (0.25 in.) OD
Connector type: SWAGELOK Bulkhead fitting (0.25x0.25")
Electrical: 110/208 VAC, 50/60 Hz, 10 A, Single phase
Power cord: Single 10 ft, 3-conductor, 14 AWG, 600 V.
2007 vintage.
NANOMETRICS Nérabilité Spec 9000b est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui offre des capacités de caractérisation avancées et de tests sans défaut. Le système est équipé d'une gamme de caractéristiques et de technologies uniques, y compris une unité d'imagerie haute résolution, un processeur d'image haute vitesse, une machine de contrôle de mouvement d'étage de wafer, et une variété de sondes d'essai spécialisées. Le fondement de Nérabilité Spec 9000b est son capteur d'image CMOS et son processeur d'image haute vitesse. L'outil comprend trois unités d'imagerie de 8 mégapixels qui peuvent simultanément acquérir jusqu'à 192 images par seconde à une résolution de 8 mégapixels. Grâce à cette performance d'imagerie, le débit et la précision de résolution sans précédent de Nérabilité Spec lui permettent de détecter les plus petits défauts et motifs sur les plaquettes. NANOMETRICS Nérabilité Spec 9000b comprend également un atout de contrôle de mouvement avec des actionneurs linéaires à jeu nul qui assurent un mouvement lisse et un positionnement précis de l'étage de la plaquette. Cela garantit que les plaquettes restent dans un environnement contrôlé pour des essais et des mesures précises. En plus de ses capacités de contrôle de mouvement, le modèle comprend également une variété de sondes de test, y compris laser, grande surface, coussin, et multi-sondes. Ces sondes offrent un large éventail de capacités d'essai et de métrologie des plaquettes. Il dispose également de matériel et de logiciels spécialisés qui lui permettent de détecter et d'identifier une variété de défauts et de motifs sur les plaquettes. Cela comprend des défauts de bord, des protubérances et d'autres caractéristiques topographiques. L'équipement comprend également un système d'inspection automatisé qui peut rapidement localiser, mesurer et marquer les défauts sur la plaquette en utilisant un algorithme avancé de reconnaissance des motifs pour l'examen automatisé des défauts. En plus des essais et de la métrologie, NANOMETRICS NécosystSpec 9000b comprend également des logiciels pour la caractérisation des plaquettes. Cela comprend un large éventail d'outils d'analyse et d'évaluation, tels que l'examen automatique et manuel des défauts, le piquage d'image et le repositionnement de l'orientation des plaquettes. Cela rend l'unité idéale pour l'examen et la caractérisation des défauts de haute précision. En conclusion, la machine 9000b est une puissante machine de test et de métrologie des plaquettes capable de détecter et de caractériser même les plus petits défauts et motifs sur les plaquettes. Son outil d'imagerie haute résolution et son matériel et logiciel spécialisés lui permettent d'identifier et de marquer rapidement et avec précision un large éventail de défauts et de motifs. Cela en fait l'atout idéal pour une variété d'applications de test de plaquettes et de métrologie.
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