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AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200 #192121
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CIRIE-200

ICP-RIE system Currently installed 2006 vintage.
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AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200 #9059484
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CIRIE-200

ICP-RIE system, 2"-8" Specifications: Chamber Materials: Anodized Al 6061T6 ICP Power: 1000 ~ 2500
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