Occasion PLASMATHERM Versaline DSE III #293737646 à vendre en France

Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.

ID: 293737646
Taille de la plaquette: 4"-8"
Style Vintage: 2012
Etcher, 4"-8" Semi-auto load lock Single wafer Mechanical clamp with affinity chiller: -40°C to +40°C ICP RF Generator: 3.5 kW, 2 MHz High-speed process modulation with DBS RF:1-100kHz for DSE Heated chamber: 180°C Optical end point detection Fast gas switching option for DSE EDWARDS iH80 Dry pump EDWARDS XDS35i Load lock dry pump EDWARDS 1300l/s STPA Turbo pump Gases / Size: C4F8 / 400 SCCM SF6 / 600 SCCM Ar / 50 SCCM O2 / 50 SCCM Non-functional parts in e-rack: GUI PC CTC PC Power supply: 380 VAC, 3 Phase 2012 vintage.
Il n'y a pas encore de critiques

Utilisé LAM RESEARCH Flex 45 Des produits

LAM RESEARCH Flex 45 #9308360

LAM RESEARCH

Flex 45

System, 12" (4) Chambers 2009 vintage.
0
LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9402509

LAM RESEARCH

TCP 9400 SE II

ICP Etcher.
0
OXFORD Plasmalab System 90 #293605091

OXFORD

Plasmalab System 90

PECVD System.
0
LAM RESEARCH Lot of matches #293666314

LAM RESEARCH

Lot of matches

Qty / Part number / Description (1) / 853-032294-002 / T Match for 9600 / 9400 PTX / SE (1) / 853-03
0
Souhaitez-vous vendre le même article?