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OXFORD Plasmalab 80 #293647911

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Plasmalab 80

Reactive Ion Etcher (RIE) Gases: RIE Chamber: Ar, O2, SiCl4, H2, SF6, CF4 CVD Chamber: SiH4, N2O, N
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OXFORD Plasmalab 80 #293655561

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Plasmalab 80

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