Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293638993 à vendre en France
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ID: 293638993
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Baking system, 8"
Wafer flow: Right to left
Silicon wafer
Process-1:
FC-9801 F NEC Controller
Stage / Indexer: Open CSB / Cassette stage block
Cassette Block Robotics Arm (CRA)
Process-2:
Process Block Robotics Arm (PRA)
(6) DHP
(9) LHP
(5) CPL
Power transformer
SHINWA Temperature and Humidity Controller (THC)
UPS
Hard Disk Drive (HDD) included
(2) Missing parts:
Main arm Y-motor
Main arm Z-motor driver
1995 vintage.
TEL TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est un système de photorésistance conçu pour fournir une qualité d'imagerie, une productivité et un contrôle de procédé de qualité supérieure pour un large éventail d'applications. Le système est une combinaison d'un module de développement/revêtement, d'un module d'imagerie et d'un pas de contact avec aligneur. Le module de développement/revêtement est conçu pour fournir des capacités supérieures pour le développement et le revêtement des processus. Il utilise une technologie avancée sans bulles pour garantir la plus haute qualité. Le module dispose également d'un réglage de l'avant et de l'épaisseur du film pour assurer une bonne épaisseur du film. De plus, le module dispose d'un réglage de vitesse pour assurer la répétabilité et l'uniformité des processus. Le module d'imagerie dispose de capacités avancées de balayage interférométrique laser, ainsi que d'une surface de balayage pleine taille pour assurer une résolution maximale de l'image. De plus, le module d'imagerie peut être utilisé pour des opérations de précision et de production en série. Il dispose également d'un setter d'image manuel pour les images ponctuelles. Le pas de contact avec aligneur est conçu pour assurer un positionnement précis du masque pour un enregistrement cohérent de l'image. Le stepper dispose également d'un contrôle avancé de reconnaissance de motifs pour contrôler précisément l'enregistrement entre le matériau de masquage et la surface. De plus, le pas de contact permet un alignement de contact extrêmement précis pour que l'image soit parfaitement alignée sur le substrat. TEL Clean Track Mark 7 est un système de photorésistance de pointe capable de fournir une qualité d'imagerie, une productivité et un contrôle de procédé de qualité supérieure. Ses fonctionnalités avancées assurent la cohérence et le contrôle de la qualité dans une variété de processus. De plus, sa taille compacte et sa conception économe en énergie lui permettent de s'intégrer facilement dans de petits espaces. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 offre la solution idéale pour une large gamme d'applications d'imagerie.
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