Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293641936 à vendre en France
URL copiée avec succès !
ID: 293641936
(1) Coater / (2) Developer system, 8"
Single block
Silicon wafer
Wafer flow: Right to left
Process station (PSB): Process block robotic arm (PRA)
ADH
(4) LHP
(3) CPL
FC-9801 F Controller
Stage: Cassette stage
Indexer: Open CSB
CRA
2-1 COT unit:
Resist dispense nozzle with HV pump
Side rinse nozzle
Dual back rinse nozzles
Photoresist temperature controller
Motor flange temperature controller
Direct gravity drain type
2-2 / 2-3 DEV unit:
Stream nozzle
Dual D.I top rinse nozzle
Dual back rinse nozzles
Motor flange temperature controller
Direct gravity drain type
Auto damper
Auto dummy dispenser
Chemical supply system:
Solvent supply for COT unit
Develop solution supply for (2) DEV units
Power transformer
SHINWA THC Temperature and humidity controller
Hard Disk Drive (HDD) included
(2) Circular pumps missing.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est un équipement de photorésistance conçu pour la fabrication de dispositifs microélectroniques avancés. Ce système dispose d'une chambre de focalisation et d'alignement des faisceaux de haute précision, permettant aux travailleurs d'effectuer un traitement travail par travail au niveau atomique. TEL Clean Track Mark 7 se compose de deux étapes : une chambre d'alignement et l'étape de traitement du substrat. La chambre d'alignement comporte une machine de déviation de faisceau avec deux lentilles qui servent à aligner le faisceau et ainsi focaliser la lumière sur le point exact sur le substrat en cours de traitement. Cela garantit un résultat très précis et reproductible pour chaque travail. L'étape de traitement du substrat consiste en une chambre à vide remplie de divers gaz pour nettoyer et éliminer les particules dangereuses et les contaminants atmosphériques susceptibles de contaminer le substrat. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est capable d'atteindre une résolution de 1µm à l'aide du logiciel de contrôle. Ceci est réglable et peut être accordé pour répondre à différents processus. L'outil dispose également d'une gamme de fonctionnalités avancées qui peuvent être utilisées pour ajuster la focalisation, la taille et la forme du faisceau. Cela permet à l'utilisateur d'optimiser le processus en très peu de temps et avec des précisions très élevées. De plus, Clean Track Mark 7 utilise une méthode d'irradiation innovante en attente de brevet qui augmente l'intensité du signal et l'homogénéité du signal. Ceci améliore la résolution des dispositifs en réduisant les imperfections de surface et assure une gravure de plaquettes de qualité constante. Le modèle dispose également d'une gamme d'outils de diagnostic tels que le test de gravure sur plaquette, le test de nettoyage photorésist, la simulation de faisceau E, le contrôle automatisé de recette, et bien plus encore. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour fournir la plus haute qualité de gravure des plaquettes et de traitement des photomasques. Avec sa haute résolution, son logiciel de contrôle et sa variété de fonctionnalités avancées, les travailleurs peuvent effectuer des tâches nécessitant une grande précision fiable et précise.
Il n'y a pas encore de critiques