Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746065 à vendre en France
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ID: 293746065
Taille de la plaquette: 8"
(2) Developer systems, 8"
Wafer flow: Left to right
Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est un équipement de photorésistance qui permet aux fabricants de circuits intégrés d'obtenir un traitement fin et précis des structures complexes. Le système est capable de produire des structures en oxyde de conserve très précises et fiables sans avoir besoin d'un masquage préalable. TEL Clean Track Mark 7 utilise une technologie unique brevetée de profilés Optra Beam pour ajuster avec précision la forme et la densité de puissance du faisceau en fonction du profil du substrat et de la résine photosensible afin d'atteindre les objectifs de traitement souhaités. La machine permet le contrôle et le réglage en temps réel de la forme du faisceau et de la densité de puissance, permettant un traitement très précis et efficace même avec des formes et des caractéristiques complexes. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 utilise également des techniques d'imagerie et de contrôle laser de pointe, ainsi qu'une unité d'irradiation améliorée qui élimine les effets d'ombre et d'éruption. En contrôlant avec précision la taille de la tache laser et la densité de puissance, la machine réduit le chevauchement des films et améliore ainsi la précision des résultats finaux. La couche de résine photosensible utilisée en liaison avec Clean Track Mark 7 est conçue pour être thermiquement stable et avoir une très faible résistance électrique. Cela permet à l'outil de réaliser des structures extrêmement minces (1-2 microns de large) avec un rapport d'aspect élevé, ainsi que des largeurs de ligne très fines et des interconnexions étroites en aluminium. L'actif permet également d'ajuster la fenêtre de processus en continu, ce qui permet au client de définir des critères de traitement et de performance exigeants tels que la résolution d'image et la hauteur critique des fonctionnalités. En outre, les algorithmes étape et répétition peuvent être activés et utilisés pour reproduire des IC sur plusieurs substrats avec une grande précision. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est un modèle photorésist puissant et fiable idéal pour les applications nécessitant précision et précision, comme pour la fabrication d'IC. Ses technologies avancées d'optique, d'imagerie et de contrôle laser permettent un traitement très précis, mais flexible, qui garantit des résultats parfaits même dans les substrats complexes.
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