Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746066 à vendre en France
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ID: 293746066
Taille de la plaquette: 8"
(1) Coater / (2) Developer system, 8"
Wafer flow: Right to left
Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est un produit de pointe dans la technologie photorésist. Il fournit des solutions photorésistantes avancées pour les fabricants de dispositifs semi-conducteurs. Cette technologie est utilisée pour réaliser avec précision les motifs de conception requis sur des matériaux de substrat, tels que des plaquettes de silicium. TEL Clean Track Mark 7 dispose d'un équipement unique d'alignement de masque, capable de fournir des alignements précis et reproductibles entre les masques de lithographie et le substrat. Ceci est réalisé à l'aide d'un système d'alignement optique avancé utilisant un laser, un séparateur de faisceau diffractif, et deux caméras, qui détectent l'alignement entre le masque et le substrat ainsi que l'exposition de la photorésist au laser. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 dispose d'une fonction d'exposition unique qui utilise une source lumineuse ultraviolette de haute intensité et une unité optique modifiée pour exposer avec précision la résine photosensible à l'aligneur du masque. Il utilise également une machine de revêtement haut de gamme qui utilise un applicateur de haute précision pour appliquer avec précision du matériau photorésist sur le substrat. Cet outil est conçu pour minimiser le temps d'exposition, réduire les déchets et assurer un revêtement uniforme de la résine photosensible. Clean Track Mark 7 est conçu pour obtenir des substrats de précision supérieure et des motifs très détaillés. Il dispose de technologies de contrôle avancées, comme un actif de contrôle spécialisé qui maintient les paramètres de processus dans une plage de précision prédéfinie. Ce modèle peut fournir des résultats lithographiques de haute précision, obtenant une exposition plus dense et une couverture supérieure. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 peut être intégré à d'autres systèmes de production pour obtenir des capacités de processus plus larges. Il est équipé d'un équipement d'interface informatisé, lui permettant d'être utilisé avec une variété de logiciels. Cela permet au système de fonctionner indépendamment, ou en combinaison avec d'autres technologies compatibles. TEL Clean Track Mark 7 est construit à partir de composants de qualité, fournissant un outil fiable et performant pour les besoins de fabrication d'appareils. Il est conçu pour une utilisation à long terme et nécessite un entretien minimal. Cette unité offre des résolutions supérieures et est capable de produire des motifs très détaillés avec un niveau de précision plus élevé que les autres technologies.
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