Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293819950 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293819950
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
(1) Coater / (2) Developer system, 8"
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est un équipement de photorésistance automatisé conçu pour le processus de précision, le dépôt et la gravure. Le système dispose d'un scribe laser haute vitesse qui permet un alignement de superposition de haute précision. La machine est équipée d'un certain nombre de paramètres réglables, ce qui la rend facile à ajuster pour différents types de substrat ou exigences de processus. La résine photosensible peut être livrée en format de film mince pour la modélisation haute résolution de petites géométries. L'outil utilise une source laser multifaisceaux ultra haute fréquence qui génère une série d'impulsions laser pour scriber des motifs sur la surface du substrat. Les repères sont alors utilisés comme références d'alignement pour le cycle de dépôt de la résine photosensible. L'actif est capable d'un contrôle précis de la topographie de surface du substrat, permettant un positionnement et un enregistrement précis de la résine photosensible sur les marques noyées. Le modèle photorésist peut déposer du matériau photorésist sous forme de couches minces sur une surface de substrat. Ce dépôt précis en couches minces peut permettre de modeler à haute résolution de petites géométries, idéales pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. L'équipement est en outre équipé d'une caméra intégrée pour l'alignement précis du faisceau laser pour le processus de scribing. Cette caméra est également utilisée pour la rétroaction en temps réel pendant le processus de dépôt, permettant un enregistrement de haute précision de la résine photosensible sur les marques scribées. Le système photorésist est conçu pour la répétabilité et le débit. L'unité est capable d'atteindre 2 000 photorécepteurs par heure. Ce débit élevé le rend idéal pour les applications où le débit est critique, comme les grandes séries de production. La machine TEL Clean Track Mark 7 est une solution idéale pour le dépôt de matériaux photorésistants sur des substrats scribés. La source laser multi-faisceaux à grande vitesse permet un scribage et un enregistrement précis du matériau photorésist. L'appareil photo intégré et l'outil de contrôle automatisé des processus permettent un contrôle de haute précision avec des erreurs minimales et des temps de cycle rapides. L'atout est très polyvalent, ce qui le rend idéal pour la modélisation haute résolution de petites géométries avec une variété de substrats et d'exigences de processus.
Il n'y a pas encore de critiques