Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158029 à vendre en France
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ID: 9158029
Taille de la plaquette: 8"
(3) Developer system, 8"
Single block
2000-2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (CTM7) est un équipement de photorésistance optimisé pour le nettoyage et le traitement des plaquettes. Le système utilise un enregistreur de faisceau haute performance (HBR) pour capturer et traiter les images haute résolution des plaquettes semi-conductrices. Le CTM7 dispose d'une table de transposition à trois axes pour permettre un positionnement précis de la plaquette pour le processus d'imagerie. Le processus d'imagerie tire parti d'une grande variété de configurations d'outils et utilise jusqu'à douze (12) lentilles avancées pour le balayage dynamique des plaquettes. Les lentilles sont capables de capturer et de traiter des caractéristiques sur la plaquette avec une résolution pouvant atteindre 25 nanomètres (nm). Le CTM7 utilise la technologie photorésist pour capturer l'image de la plaquette semi-conductrice. La photorésist est un matériau sensible à la lumière utilisé dans la fabrication moderne de semi-conducteurs pour créer un motif à la surface de la plaquette. Le CTM7 éclaire la plaquette avec une lumière laser d'une longueur d'onde appropriée tandis que la caméra HBR capture l'image réfléchie. L'image capturée est ensuite numérisée et enregistrée pour un traitement ultérieur. Le CTM7 peut supporter plusieurs couches de résine photosensible sur la plaquette, avec les couches nécessaires déterminées par la conception du dispositif. Le CTM7 est également équipé d'une navette multidimensionnelle unique (MDSS). Le MDSS permet de transférer rapidement les plaquettes entre la chambre HBR et les chambres de processus. Le MDSS permet également l'imagerie latérale de la plaquette, ce qui augmente la capacité de la photorésistance à capturer et enregistrer les caractéristiques de l'appareil. La technologie et les caractéristiques de pointe du CTM7 en font l'un des systèmes photorésistants les plus avancés et les plus fiables disponibles. L'outil est conçu pour une efficacité et une fiabilité maximales, ce qui réduit le coût de fabrication des semi-conducteurs. De plus, le CTM7 comprend une variété de fonctions de sécurité telles que les commandes automatiques, la protection contre la coupure de courant, la désactivation laser et l'arrêt d'urgence. Ces caractéristiques font du CTM7 l'une des options les plus sûres pour la production de semi-conducteurs.
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