Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165446 à vendre en France
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ID: 9165446
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
Dual blocks
Interface
ASML Stepper
Wafer flow: Right to left
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (CTM7) est un équipement de photorésistance qui analyse avec précision les motifs pour produire des pochoirs précis et des motifs gravés sur divers substrats, y compris les métaux, l'électronique, le verre, etc. Ce système a été développé pour tirer parti de la dernière technologie de semi-conducteurs et d'emballage. Il est conçu avec une tête d'impression « propre » qui élimine la poussière, la saleté et d'autres contaminants qui pourraient empêcher la formation de motifs précis. Le CTM7 se compose d'une navette, d'un soufflet et d'un mandrin double face avec une plaque de rotation. La navette déplace le panneau ou le substrat d'une station à l'autre, exécutant automatiquement chaque étape du processus. Le soufflet centre le panneau et scelle le sac sous vide avec l'outil. Il y a trois étapes du processus. Tout d'abord, un pré-processus est mené pour préparer la surface du substrat pour le dépôt. Au cours de cette étape, toutes les poussières, saletés ou autres contaminants sont éliminés de la surface du substrat. Le procédé est complété par le chauffage du substrat pour permettre une adhésion efficace. On procède ensuite à un dépôt de résine photosensible. Le photorésist est un liquide qui est exposé à la lumière, puis se solidifie lorsqu'il est durci. Un faisceau laser est utilisé pour exposer le substrat au matériau photorésistant, avec une précision de 0,5 microns. Cet atout pas à pas permet des motifs de précision et une gravure du substrat. Enfin, le post-processus a lieu. Cette étape élimine toute résine photosensible restante du substrat. Un lavage à chaud, suivi d'un séchage du substrat et d'une gravure électrochimique, complète le processus. Le résultat est un pochoir haute précision et haute fiabilité qui peut être utilisé pour de nombreuses applications. Le CTM7 est un outil efficace et rentable, puisqu'il peut manipuler jusqu'à des panneaux à la fois, avec des empreintes précises livrées en moins de temps que les processus traditionnels. En conséquence, le CTM7 réduit la consommation d'énergie tout en optimisant la production.
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