Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165473 à vendre en France
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ID: 9165473
Taille de la plaquette: 8"
Coater / (2) Developer system, 8"
Scrubber
Interface
CANON Stepper
Wafer flow: Left to right
Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est un équipement de photorésistance sélectif de mode avec des capacités avancées qui lui permettent de déposer avec précision des films photosensibles avec une variété de propriétés souhaitées. Ce système utilise un processus en trois étapes pour assurer une épaisseur de film uniforme et une précision et une résolution quasi parfaites pour les applications de photolithographie. Tout d'abord, un ensemble de photozones propriétaires sont établis à partir de modèles spécifiques de dépôt et de masquage des matériaux. Ces zones sont ensuite guidées par vision machine pour diriger le dépôt du film de résine photosensible sur les photozones prédéterminées. L'utilisateur peut choisir entre différents degrés d'épaisseur de film selon le type de photolithographie souhaité, ainsi que toute autre étape supplémentaire du procédé. La deuxième étape consiste en l'application d'un prétraitement plasma qui permet d'améliorer le mouillage du film de résine photosensible. Un prétraitement plasma est essentiellement un gaz ionisé à basse énergie qui aide à chauffer et à initier la réaction photorésiste avant de se lier à la surface du substrat. En contrôlant le prétraitement plasmatique de diverses manières, l'utilisateur peut ajuster sélectivement les propriétés du film de résine photosensible à sa destination. La troisième étape de TEL Clean Track Mark 7 est celle où la résine photosensible est exposée à la lumière ultraviolette (UV). Ceci se fait généralement avec une série de machines afin de pallier certains des inconvénients des opérations manuelles. En utilisant des systèmes de contrôle de mouvement multi-axes et des optiques de précision, l'unité peut rapidement obtenir des images haute résolution avec des taux d'acquisition parfaits. En outre, la machine utilise des outils logiciels propriétaires pour aider à optimiser la résolution et automatiser l'étalonnage et le réglage des paramètres. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est un outil idéal pour les applications de photolithographie en raison de sa précision et de son uniformité. Grâce à son procédé en trois étapes, la précision et la résolution des dépôts de résines photosensibles peuvent être obtenues avec un grand succès. En utilisant l'actif, les matériaux photorésistants d'épaisseurs diverses peuvent être réalisés de manière cohérente et fiable. En outre, la nature hautement automatisée du modèle permet un processus rapide et efficace dans lequel l'utilisateur peut s'attendre à un grand degré de précision et de résolution.
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