Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165479 à vendre en France
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ID: 9165479
Taille de la plaquette: 8"
(2) Coater system, 8"
Blank / Reserve
Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est une technologie de photorésistance conçue pour améliorer la production et les performances des dispositifs semi-conducteurs avancés. Ce système utilise une gamme de sources différentes pour produire une dose uniforme et cohérente de lumière à travers les zones de son substrat cible. Les systèmes photorésistants sont de plus en plus importants dans l'industrie des semi-conducteurs, car ils sont nécessaires pour exposer avec précision le substrat afin d'obtenir les effets souhaités. TEL Clean Track Mark 7 est conçu spécifiquement dans le but de réduire à la fois le coût et la complexité des opérations, en particulier l'intensité prédéfinie et la dose uniforme de lumière livrée à travers la plaquette. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 comprend un certain nombre de composants intégrés comprenant un composant optique, un contrôleur et une unité de contrôle de processus de résistance. Le composant optique utilise un illuminateur optimisé pour délivrer de la lumière sur le substrat de manière précise et uniforme. Ceci garantit la précision et la répétabilité du processus de photorésistance. Le contrôleur est chargé de régler l'intensité de la lumière émise et de mesurer la dose, assurant ainsi la rétroaction et le contrôle du composant optique et résistant à l'unité de contrôle de processus. L'unité de contrôle du procédé de résistance est utilisée pour contrôler les processus chimique-galvanique et d'infiltration sèche, et joue un rôle critique dans l'optimisation des paramètres du processus de gravure. Afin de résoudre les principaux problèmes liés au processus de photorésistance, la machine Clean Track Mark 7 est conçue avec un certain nombre de caractéristiques essentielles telles qu'un profil thermique amélioré, un timing précis et une intensité lumineuse uniforme à travers le substrat. Pour faciliter cela, un détecteur de photons à haut rendement et une source lumineuse uniforme sont intégrés dans l'outil. De plus, un contrôle précis de la dose et du temps d'exposition est effectué par le contrôleur. Ces caractéristiques garantissent des opérations efficaces et précises, maximisant ainsi la productivité et le rendement lithographique. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est équipé d'une plaque de diffusion de 10 pouces, qui permet de graver des motifs plus fins sur le substrat, ce qui améliore l'optimisation des fenêtres de processus. En outre, l'épaisseur de la résine peut également être mesurée en temps réel avec un capteur spécial, permettant en outre un contrôle précis du traitement de la résine. Dans l'ensemble, le modèle TEL Clean Track Mark 7 est un choix optimal pour l'impression par contact et la lithographie dans le traitement des semi-conducteurs. Il possède des fonctionnalités avancées comme un composant optique finement réglé, un contrôleur précis et une unité de traitement de résistance améliorée. Ces composants se combinent pour fournir une dose lumineuse précise et uniforme sur tout le substrat, un profil thermique efficace et un contrôle précis des doses et du temps d'exposition. En conséquence, l'équipement TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 permet une production de semi-conducteurs efficace et rentable.
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