Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9246548 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est un équipement de photorésistance qui offre une large gamme d'options pour l'imagerie et le traitement. Cette machine offre une plate-forme efficace pour la lithographie optique et les procédés avancés de traitement tels que la gravure, le dépôt et le décollage. Le système utilise un laser à haute vitesse, multi-longueurs d'onde et une unité miroir supérieure pour créer des images acérées et à haute résolution sur des plaquettes semi-conductrices. La machine est également équipée d'un étage thermique dynamique qui maintient un contrôle précis de la température du substrat, garantissant la plus haute qualité de résolution de motifs. La machine est conçue pour réduire les défauts et la contamination, ce qui la rend idéale pour les applications sensibles à haute résolution. Il dispose d'un outil de filtration avancé contenant trois unités distinctes pour éliminer les particules, l'humidité et la contamination atmosphérique. TEL Clean Track Mark 7 est également équipé d'un système d'écoulement d'air à la fine pointe de la technologie qui isole la zone de traitement de la chambre pour empêcher la contamination aérienne d'entrer dans le modèle. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est capable de traiter une variété de matériaux, y compris des plaquettes de silicium sur isolant (SOI) et des plaquettes de silicium sur saphir (SOS). En outre, l'équipement offre un large éventail d'options de dépôt et de soulèvement, y compris les processus de dépôt/soulèvement par voie humide, sèche et laser. Enfin, Clean Track Mark 7 est équipé d'un système d'imagerie avancé. L'unité est capable de résoudre des motifs jusqu'à 0,5 micron, ce qui est bien adapté pour les applications DRAM et SRAM. En outre, la machine peut gérer plusieurs transferts de couches, assurant un niveau élevé de précision et de répétabilité entre les différentes couches. En outre, la machine offre des capacités d'alignement avancées, permettant à l'utilisateur de positionner avec précision différentes couches sur le substrat. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 est un outil photorésist puissant et fiable pour l'imagerie et le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il dispose de capacités d'imagerie haute résolution, de multiples options de dépôt/soulèvement, de filtration avancée du flux d'air et d'excellentes capacités d'alignement. Cette machine est un choix idéal pour une variété d'applications d'imagerie et de traitement.
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