Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293616507 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 est une solution d'imagerie avancée conçue pour les traitements de lithographie. Le système est conçu pour maximiser le débit tout en réduisant les effets thermiques sur les matériaux de masque. Sa conception modulaire lui permet de s'adapter à un large éventail d'applications de production et s'intègre facilement à la plupart des systèmes de lithographie existants. TEL Clean Track Mark 8 utilise un objectif avancé et utilise un éclairage ultraviolet à cinq bandes pour obtenir une résolution d'image aérienne pouvant atteindre 100nm. Sa précision d'imagerie impressionnante, combinée à sa capacité de sélection des rayonnements en longueur d'onde, font de la machine une machine idéale pour les applications de lithographie haut de gamme. Il a également une gamme dynamique élevée pour fournir la clarté et les plages tonales subtiles nécessaires à ces traitements. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 comprend un contrôleur de résistivité programmable qui assure une application uniforme de la résine photosensible et offre également un taux de rinçage élevé, ce qui permet de minimiser les variations de processus et la non-uniformité. Il supporte l'écriture de masque haute résolution, y compris l'alternance et l'écriture de masque hiérarchique à plusieurs niveaux. L'outil utilise un algorithme de contrôle informatique amélioré qui réduit les aberrations et assure un dosage uniforme de la résine photosensible. Il est équipé d'un outil d'alignement de plaquettes pour des traitements stables et reproductibles et comprend une caméra CCD pour l'alignement de boucle et le contrôle de sortie de défaut. Pour plus de commodité, Clean Track Mark 8 est équipé d'une interface utilisateur graphique conviviale (interface graphique) avec contrôle tactile. L'interface graphique offre un accès facile à toutes les fonctions d'édition, d'exploitation et de script. Il offre un réglage dynamique de la taille de l'image, ainsi qu'une indexation automatisée des plaquettes et une correction d'alignement. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 est un modèle photorésist idéal pour les applications de lithographie qui exigent un débit, une répétabilité et une précision élevés. Ses équipements d'optique de pointe et ses capacités d'imagerie avancées en font une solution viable pour les traitements semi-conducteurs de plus haut calibre.
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