Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9128616 à vendre en France
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ID: 9128616
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Developer, 8",
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 est un équipement de traitement de résines photosensibles, utilisé pour traiter des plaquettes lors de la production de semi-conducteurs. La résine photosensible est un matériau de type époxy sensible à la lumière qui est durci sélectivement lorsqu'il est exposé à la lumière, ce qui le rend idéal pour la photolithographie. Avec ce système, la résine photosensible est exposée, développée et dénudée dans un environnement contrôlé à l'aide d'une unité de commande automatisée. TEL Clean Track Mark 8 est une plate-forme modulaire avec une sélection de chambres pouvant être installées au besoin. Cela permet de réaliser de nombreux types de procédés, tels que le revêtement de résistance, le pré-cuisson, l'exposition, le bake post-exposition, le développement, le stripping, la bande sèche et plus encore. La machine est également capable de gravure localisée de haute précision, car l'outil d'exposition utilise un faisceau laser avec alignement pas-à-pas. L'outil maintient des rendements de processus ultra élevés et est conçu pour une consommation minimale de consommables tels que les produits chimiques et les fournitures de nettoyage des plaquettes. Son outil de surveillance automatique maintient des conditions de processus optimales, avec une analyse en temps réel des données de processus pour le dépannage et les réparations. Il minimise les temps d'arrêt avec un entretien préventif avancé et offre une gamme de capacités pour récupérer des défauts de processus ou des problèmes liés à l'abrasion. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 dispose également d'une gamme de fonctionnalités pour assurer une production sans particules. Son modèle de chauffage des plaquettes et son circulateur sont conçus pour éviter la condensation dans la chambre et un équipement automatique de rotation des filtres empêche le colmatage des filtres. Avec une série de brosses de lavage et de radiateurs à l'intérieur de la chambre, le système contient des particules pendant le processus de décapage. Clean Track Mark 8 est une unité photorésist efficace et fiable. Sa conception modulaire permet aux utilisateurs de personnaliser la solution pour leurs besoins spécifiques de processus, et ses alignements laser de haute précision permettent d'assurer le rendement le plus élevé. Son entretien préventif avancé et son réseau de caractéristiques de rétention des particules en font une machine précieuse pour la production de semi-conducteurs.
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