Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9184205 à vendre en France

ID: 9184205
Taille de la plaquette: 8"
IRAM Interface block, 8" Includes: (2) KOGANEL Robots P/N: CR1131W-D (2) OLYMPUS Servo drivers TAIYO PCB Part no: CN-BASE TEL Wafer robot STP I/F & ELV Board: PCB Part no: 381-639388-8 I/F Board: PCB Part no: 381-643319-5.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est capable d'accomplir les étapes cruciales du développement, de l'exposition et du post-traitement avec une grande précision et efficacité. Cela lui permet de créer une variété d'appareils avec des caractéristiques optimisées et des performances améliorées. Au cœur du système se trouve une puissante source d'exposition aux UV profonds. Cela assure une irradiation uniforme sur toute la surface de la plaquette et permet un contrôle précis de la résolution du motif et des largeurs de ligne/espace. Le temps d'exposition peut être réglé pour des caractéristiques plus petites et des rapports d'aspect plus élevés, ce qui permet des motifs plus complexes impliquant des lignes étroitement espacées et des géométries plus complexes. L'unité est équipée d'une machine de distribution chimique qui utilise des pompes péristaltiques très précises pour appliquer les produits chimiques du développeur sur la plaquette à une vitesse contrôlée. Ceci assure le développement de la résine photosensible avec l'intensité requise et de manière uniforme. Le processus de post-traitement est optimisé avec une fonction d'équilibrage statique et dynamique, qui peut affiner l'inclinaison et la vitesse du coussin du développeur, ainsi que le taux de distribution chimique. La Mark 8 est conçue pour une sécurité maximale de l'opérateur. Il dispose d'un outil intégré d'extraction des fumées qui filtre automatiquement les produits chimiques aéroportés et les contaminants de laboratoire pour protéger l'utilisateur contre l'exposition. En outre, l'actif est conçu pour respecter ou dépasser la réglementation stricte concernant la manipulation chimique corrosive et le stockage et l'élimination des matières toxiques. Afin de garantir le plus haut niveau de performance et de fiabilité, le modèle est rigoureusement testé et calibré avant d'être livré. Il s'agit notamment d'exécuter diverses simulations pour simuler les effets des niveaux de défauts dans la couche de résine photosensible, afin de déterminer les réglages optimaux pour une application donnée. TEL Clean Track Mark 8 a été développé pour permettre un traitement flexible et rentable des résines photosensibles. Son contrôle précis des niveaux d'énergie légers, la distribution précise des produits chimiques, l'équilibrage dynamique et les dispositifs de sécurité automatisés en font un outil idéal pour la fabrication de semi-conducteurs.
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