Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9250395 à vendre en France
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ID: 9250395
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
(2) Coater / (2) Developer system, 8"
Upgraded from Mark 7
Single block
Interface
NIKON Stepper
Wafer flow: Left to right
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 est un équipement de photorésistance doté d'un système de micro-transfert et de manutention de plaquettes haute performance. Il est capable d'un traitement photorésist de haute qualité jusqu'à 300mm de plaquettes. TEL Clean Track Mark 8 fournit un ensemble d'options pour la compatibilité du cycle sous vide et est adapté à une variété d'applications telles que la bande sèche/gravure, le nettoyage, la gravure et le spin coat. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 est conçu pour fournir une précision d'alignement, une fiabilité et une charge utile supérieures jusqu'à la cible. L'outil d'alignement rapide de la machine permet un transfert sécurisé sans endommager les plaquettes. L'actif dispose également d'une structure unique qui élimine le besoin d'une piste flottante et élimine le problème du hucking des plaquettes tout en transférant les plaquettes. Le micro-transfert du modèle Clean Track Mark 8 est basé sur une plate-forme rotative et est capable de transférer plusieurs plaquettes simultanément, ce qui augmente le débit du processus. L'équipement dispose également d'une caméra haute vitesse et haute résolution pour assurer l'alignement et l'enregistrement précis de la résine photosensible sur la plaquette. La caméra est équipée d'un système d'imagerie capable de détecter de petits changements de motifs, ce qui la rend idéale pour la production d'appareils à motifs avancés. Une autre caractéristique de TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 est sa machine de manutention de plaquettes haut de gamme. L'outil permet le chargement et le déchargement simultanés de plusieurs plaquettes afin de minimiser le coût et le temps du processus. L'actif fournit également le cisaillement automatique et la coupe de quartz, ainsi que le traitement automatisé des lots. Cela permet de traiter efficacement les plaquettes de la phase initiale à la phase finale, de gagner du temps et d'assurer un contrôle efficace des processus. Le modèle fournit également des outils avancés et des services de cycle de vie pour un contrôle efficace des processus. Ceux-ci comprennent la surveillance du processus, la vérification du processus et le diagnostic du processus. De plus, l'équipement TEL Clean Track Mark 8 comprend également un logiciel de simulation de processus intégré, un système de gestion des SOP et des recettes et une unité de maintenance prédictive. Enfin, la machine TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 est conçue pour optimiser la précision et la sécurité de fonctionnement dans tous les processus de photorésistance grâce à ses fonctions de sécurité complètes. Ces caractéristiques comprennent un mandrin en verre sensible à la pression, une porte pivotante de sécurité, des serrures et une foule d'autres caractéristiques de sécurité. Ces caractéristiques garantissent la sécurité des opérateurs, ainsi que la fiabilité et les performances.
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