Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9250396 à vendre en France
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ID: 9250396
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
(2) Coater / (2) Developer system, 8"
Upgraded from Mark 7
Single block
Interface
NIKON Stepper
Wafer flow: Left to right
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 est un équipement photorésist révolutionnaire spécialement conçu pour les applications de gravure à sec. Ce système utilise un nouveau procédé pour fournir plus de deux fois la précision et l'extrême uniformité des caractéristiques gravées par rapport aux procédés traditionnels de gravure par voie humide. TEL Clean Track Mark 8 se compose d'une unité à deux chambres qui comprend une chambre de traitement à pression atmosphérique et une chambre d'évacuation de résines dédiée. Un chargeur de gravure est utilisé pour placer automatiquement de la résine photosensible sur la plaque de substrat, ce qui permet une optimisation indépendante du processus de gravure avant le processus de gravure. La chambre de procédé contient un niveau de vide inférieur à 0,1 mbar et est combinée à l'utilisation de sources de gaz plasma et de gaz d'entrée. La source de gaz plasma est utilisée pour nitrurer la surface du substrat avant gravure et la source de gaz d'entrée est utilisée pour créer l'énergie plasma qui est utilisée pour réagir avec la résine photosensible et graver le substrat. La conception unique de la chambre de procédé est dotée d'un « entraînement direct » breveté qui élimine la nécessité d'une source d'énergie externe pour la chambre. Cette machine est également conçue pour réduire la génération indésirable de particules pendant le processus de gravure, assurant une gravure propre et uniforme. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 présente également un design de chambre en acier inoxydable résistant aux produits chimiques. Cette conception élimine la contamination croisée et la corrosion à long terme des matériaux à l'intérieur de la chambre. La chambre est scellée de façon unique, pour éviter toute fuite de gaz ou de particules, assurant la performance du processus de gravure. En outre, la chambre est régulée en température, assurant des résultats de gravure cohérents. L'outil de contrôle de Clean Track Mark 8 dispose d'une interface utilisateur graphique avancée (interface graphique) et d'un accès à distance facile pour la maintenance et l'analyse. Cet actif permet de surveiller les paramètres du processus tels que la température, la pression, le courant et les concentrations de gaz. Grâce à ces contrôles, la traçabilité des processus et l'enregistrement des données des paramètres de gravure sont possibles, ce qui permet d'optimiser les processus de gravure. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 est conçu en tenant compte de la sécurité et de l'environnement, y compris la réduction des composés organiques volatils (COV) rejetés dans l'atmosphère. Avec une conception économique, le modèle nécessite moins d'énergie et réduit le coût d'exploitation. Dans l'ensemble, TEL Clean Track Mark 8 est un équipement photorésist révolutionnaire spécialement conçu pour les processus de gravure à sec et fournit aux utilisateurs des résultats précis et cohérents. La conception avancée du système fait de TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 un choix fiable et rentable pour ceux qui cherchent à améliorer leurs processus de gravure.
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