Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269249 à vendre en France

ID: 9269249
Style Vintage: 1995
(2) Coater / (2) Developer system 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 est un équipement photorésistant conçu pour répondre aux besoins du fabricant de semi-conducteurs modernes. Ce système est conçu pour déposer et barrer la résine photosensible des plaquettes pour créer des motifs complexes avec la plus grande précision et précision. TEL Clean Track Mark 8 utilise un faisceau d'électrons pour exposer et insolubiliser la résine photosensible, ainsi qu'un processus de cendrage chimique pour compléter le processus de gravure. Cette unité peut précisément graver des largeurs de ligne jusqu'à 0,35 µm, ainsi que des bords de ligne qui sont des chanfreins et des coins arrondis. La machine dispose automatisé, programmable résistent à la distribution et à l'enlèvement pour assurer le dépôt précis et le dénudage de la résine photosensible. Afin d'assurer des couches de résistance uniformément minces, le Clean Track Marks 8 est équipé d'un outil d'inclinaison automatique. Cet atout permet la distribution et la répétabilité et l'uniformité des bandes de 8 pouces de diamètre. En tant que caractéristique unique de TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8, la présence d'une douche à gaz aide à garder les résidus, les particules et d'autres contaminants hors de la surface de la plaquette. Ce modèle comporte également un équipement de contrôle de la densité des particules, conçu pour maintenir des niveaux minimaux de particules à la surface du substrat. A l'intérieur du système, le mécanisme de distribution de résines est construit en acier inoxydable. Cela aide à éviter l'accumulation de résistances et empêche les particules magnétiques d'interférer avec le processus d'exposition. Dans l'ensemble, Clean Track Mark 8 a été conçu avec la plus grande attention aux détails et à la fiabilité. La combinaison de la conception supérieure du bras de vide et du serrage de la plaquette, associée à l'unité d'inclinaison automatique, crée une machine photorésiste qui offre les résultats les plus avancés, fiables et de la plus grande précision pour les besoins modernes de fabrication de semi-conducteurs.
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