Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9375656 à vendre en France
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ID: 9375656
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
System, 8"
SMC INR-244-110D Thermo controller
(3) SMC INR-244-112A Chillers
(5) SMC INR-244-113B Thermo controllers
SHINWA T&H-CPC-1-NL THC Unit
Wafer transfer robot
Process robot
(5) Ovens
(5) Coolers
(2) Coater units
DEV Unit
Adhesion unit
Board set
PC
Chemical tank
Mass flow control
AC Rack
(2) UPS
SMIF Module:
INTERNOVA INC ICLS-RTX
Main controller
Driver part
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 est un équipement de photorésistance conçu pour les premières applications de lithographie. Ce système utilise un nouveau type de technologie de résistance appelée résist cationique et fournit un haut degré de précision et de précision, avec une capacité inégalée pour la surveillance, le parage et le contrôle de l'exposition du processus de lithographie. L'unité se compose de quatre composants principaux : le centre de contrôle, l'unité d'exposition/traitement des plaquettes, l'aligneur et la source d'énergie. Le centre de contrôle permet à l'utilisateur de définir les paramètres d'exposition, de surveiller les niveaux d'exposition et de contrôler le mouvement de l'aligneur. L'utilisateur peut également communiquer avec la machine et modifier les paramètres du processus d'exposition. L'unité d'exposition/traitement de la plaquette comprend une table à quartz mobile dans deux directions, ainsi qu'une chambre qui permet à l'utilisateur d'exécuter différents substrats et de résister à des types de températures différentes. L'aligneur est utilisé pour contrôler précisément l'alignement de la plaquette et exposer chaque plaquette au faisceau laser correct pour obtenir les résultats de processus souhaités. L'outil est également équipé d'une source d'énergie avancée pour soutenir l'application d'expositions répétables de haute précision. TEL Clean Track Mark 8 intègre un certain nombre de fonctionnalités avancées. Il est équipé d'un outil avancé de contrôle des processus qui offre des performances constantes et répétables, avec une meilleure stabilité et précision des processus. Ce modèle permet également de suivre et d'analyser les données du processus pour améliorer le processus lithographique et obtenir de meilleurs résultats. L'unité d'exposition/traitement des plaquettes est conçue pour améliorer l'uniformité et peut accueillir une variété de substrats et de résistances. L'équipement est également équipé d'une interface utilisateur graphique avancée, offrant un moyen pratique de surveiller et de contrôler le système. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 est idéal pour des applications telles que la fabrication de semi-conducteurs avancés et la fabrication de dispositifs microélectroniques. Il fournit un contrôle optique ultra précis en tirant parti des caractéristiques de la résistance cationique, et offre un contrôle précis et la répétabilité de l'exposition. En fournissant aux utilisateurs un moyen fiable et efficace de surveiller et de contrôler le processus de lithographie, Clean Track Mark 8 garantit des résultats de meilleure qualité qui peuvent permettre un temps de développement plus court et un délai de mise sur le marché plus rapide.
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