Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293587437 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON est un équipement de photorésistance conçu pour les applications de traitement des plaquettes. Il est conçu pour fournir une capacité de fixation haute résolution avec une faible défectivité et un impact environnemental minimal. Le système fonctionne en appliquant un revêtement chimique photosensible, appelé photorésist, sur la plaquette. La résine photosensible est ensuite exposée à une source de lumière UV, habituellement située dans la chambre de lithographie, qui irradie des zones spécifiques de la plaquette. Les zones exposées à la lumière deviennent insolubles à une solution de révélateur, tandis que les zones non exposées à la lumière restent solubles. La solution de révélateur est alors utilisée pour éliminer sélectivement les revêtements exposés à la lumière et ainsi créer un motif fin sur la plaquette. L'unité TEL Metrous comprend une variété de modules de processus pour s'assurer que le revêtement photorésist, l'exposition et les applications de la solution de développement se produisent aux bons moments et réglages. La machine comprend également un certain nombre de composants d'imagerie, dont une caméra CCD compensée optiquement, un filtre de polarisation, une cartographie automatique des zones et un logiciel de traitement d'image numérique. Tous ces composants travaillent ensemble pour s'assurer que les paramètres de processus pour l'application de la résine photosensible et l'exposition sont exacts. TOKYO ELECTRON L'outil de résistance photosensible D-A a été conçu pour être très fiable et rentable. L'actif est construit avec des composants en acier inoxydable, qui sont résistants à la corrosion et aux chocs, ainsi qu'un haut degré de contrôle de turbulence pour réduire la quantité de particules qui pourraient être introduites dans la chambre de lithographie. En outre, le modèle photorésist présente un haut degré d'automatisation et offre une intégration flexible dans les systèmes de processus semi-conducteurs. Bref, les équipements photorésistants de la Société de Photorésistance offrent une haute résolution et une capacité de résistance répétable avec une faible défectivité et un impact minimal sur l'environnement. La construction fiable du système et un haut degré d'automatisation permettent un traitement fiable et économique des plaquettes.
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