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System, 12" Material / Chemical: PR, HMDS, Thinner, DEV ArF Sub-process Operating system: LINUX / Wi
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System, 12" Material / Chemical: Operating system: LINUX / Windows SMIF Hard Disk Drive (HDD) missin
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(2) Coater / (5) Developer system, 12" CANON FPA 5500 iZa included 2007 vintage.
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(2) Coater / (5) Developer system, 12" CANON FPA 5500 iZa included 2006 vintage.
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(2) Coater / (3) Developer systems, 12" Single block for NSR S308 (4) Blocks interfaced: Carrier Pr
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Coater / Developer system Career station block Process block Coat process station Develop process st
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(2) Coater / (3) Developer systems, 12" Coaters: (8) Resist nozzles With (2) temperature controller
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WCPL/TRS Water Controlled Chill Plate Process Stations Part Numbers: 5087-401690-18 BASE ASSY, MID
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Front Opening Unified Pod BODY ASSY, P/N: 5085-413307-11 CLAMP ASSY, P/N: 5085-413308-11 DRIVE ASS
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CPHP General Chambers RAME(HP)ASSY, P/N: 5087-402251-17 FRAME(COOL)ASSY, P/N: 5087-402252-17 CHAMBER
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CPL Chilling Hot Plate Process Stations BASE ASSY FRONT, P/N: 5087-402532-13 BASE ASSY MID, P/N: 50
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LHP Low Temperature Hot Plate Process Station BASE(HP) ASSY BACK, P/N: 5087-401692-19 PIN(LHP) ASSY,
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Lithius
ADH Adhesion Process Station BASE(HP) ASSY BACK, P/N: 5087-401692-19 PIN(ADH) ASSY, P/N: 5087-401608
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Lithius
Career Station Block Robotics Arm (CRA) Includes: 5080-192386-11 FLANGE,MOTOR NP8148E003-2 1 5080-1
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Lithius CSB Robot Arm P/N: CRA Assembly Includes: X AXIS(CRA)ASSY,IPL - 5085-404813-11 Y AXIS(CRA)A
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Process Block Robotics Arm P/N: PRA ASSY Includes: 010-204079-11 FORK(200),PRA 1 5010-307799-13 BLO
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Coat Process Station P/N: COT ASSY Includes: BASE ASSY - 5085-405081-1H E-BOX ASSY - 5087-400387-1C
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Develop Process Station P/N: DEV ASSY Includes: FRAME ASSY BASE - 5085-412352-13 BASE(MIDDLE) ASSY
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Electron Cassette Career Station Block (CSB) Copper Exposed Career Station Block Robotics Arm CRA (
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Coater / developer plate station Clean track Process Block Process Block Robotics Arm Coat Process
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Track system, 8", parts machine The tool was used for internal training which parts have been exchan
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Coater, 8"-12" Inline: 150 WPH Craft: Immersion, ArF, KrF, i-line Substrate: Si, glass.
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