Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293589532 à vendre en France
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ID: 293589532
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Coater / Developer system, 12"
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON est un équipement de photorésistance utilisé pour construire des structures nanométriques sur un matériau de base tel qu'une plaquette de silicium. Les photorésistes sont des matériaux aux propriétés uniques qui changent lorsqu'ils sont exposés à certaines longueurs d'onde de la lumière. En contrôlant la longueur d'onde et l'intensité de l'exposition à la lumière, les caractéristiques peuvent être définies avec précision. TEL Metrous est capable d'une variété de techniques d'exposition, y compris le contact, la proximité et hors axe. L'exposition au contact est utilisée pour les formes de base ou les ouvertures, tandis que la proximité et l'excentricité conviennent mieux pour la fixation de formes complexes. TOKYO ELECTRON utilise un faisceau lumineux focalisé pour fournir des motifs de haute résolution avec une précision de sous-microns. Ce système utilise une unité optique sophistiquée avec une source lumineuse de haute puissance. La machine intègre un scanner laser avancé, un miroir polygonal tournant, et une large plage de zoom. Ceci assure une exposition précise des photorésistants pour permettre la création de structures à haut rapport d'aspect. Les contrôles avancés des processus sont également intégrés, comme la compensation de décalage hors axe, qui ajuste automatiquement les paramètres d'exposition pour réduire les problèmes de résolution communs liés à l'exposition hors axe. Cet outil permet également l'auto-alignement des motifs et le contrôle auto-exposition pour permettre une réplication précise et cohérente des motifs sur la plaquette. TEL/TOKYO ELECTRON (TEL/TOKYO ELECTRON) est également compatible avec une large gamme de photorésistes et peut être utilisé pour diverses applications, y compris les dispositifs semi-conducteurs, silicium, MEMS et NEMS, et les systèmes microfluidiques. Cet actif est compact, flexible et fournit un traitement précis des structures nanométriques. L'intégration d'un modèle optique avancé, des contrôles de processus avancés et la compatibilité avec une gamme de photorésistances font de TEL-Metrous une solution idéale pour la création de structures nanométriques.
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