Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293615016 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON (TEL/TOKYO ELECTRON) est un équipement photorésistant conçu pour être utilisé dans les procédés de lithographie pour la fabrication de composants microélectroniques tels que les semi-conducteurs et les circuits intégrés. Ce système est bien adapté aux processus d'exposition à haut volume et à grande surface et est capable de traiter un large éventail de substrats. L'unité utilise une variété de sources de lumière UV excimères et LED de 200 à 400 nanomètres en longueur d'onde et permet des doses d'exposition de 0,5 à 10 mJ/cm2. L'optimisation automatique de l'exposition est assurée par la machine TEL Metrous, qui offre une excellente répétabilité et précision des processus pour les fonctions critiques. Cet outil est équipé d'un scanner laser haute vitesse performant capable de scanner des zones pouvant atteindre 40 pouces. La précision d'exposition du scanner est de 0,765 microns et sa vitesse de balayage peut atteindre jusqu'à 6 pouces par seconde. L'actif comprend également un contrôleur d'exposition haute performance avec de nombreuses fonctions différentes, telles que le contrôle de dose, l'alignement des masques et l'inspection des motifs. Le modèle de contrôle assure une productivité élevée en permettant l'exposition simultanée de positions de champ multiples et supporte une gamme de tailles de fonctionnalités jusqu'à 0,25 micron. De plus, l'équipement TOKYO ELECTRON D'origine est conforme à la norme SEMI E75, qui permet une variété de méthodes de développement, y compris le développement par voie humide ou sèche. Le système de la microélectronique a plusieurs caractéristiques qui garantissent la qualité des composants microélectroniques produits. Les capteurs de l'unité détectent la présence de poussières et d'autres particules et avertissent l'opérateur s'il y en a. En outre, la machine est conçue pour réduire la consommation d'énergie et son outil de contrôle de source UV auto-nettoyant empêche la source UV de produire un motif défectueux en raison de la contamination par la poussière. Enfin, l'actif dispose d'une option de développement ouverte supplémentaire, qui permet une flexibilité supplémentaire dans le processus photorésist. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Le modèle de résiste photosensible est un outil efficace pour la production de composants microélectroniques. Il est bien adapté à la fabrication à haut volume et est capable de produire des résultats cohérents et fiables grâce à ses systèmes automatisés d'optimisation de l'exposition et de détection de la contamination par la poussière. En outre, sa conformité à la norme SEMI et son ouverture à une variété de méthodes de développement augmentent la flexibilité de l'équipement, lui permettant de se conformer aux besoins individuels du processus de production.
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