Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293766618 à vendre en France
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ID: 293766618
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Coater / Developer systems, 12"
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour répondre aux exigences exigeantes des procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ce système de pointe intègre la lithographie de précision et d'autres processus critiques afin de permettre la structuration à haute résolution utilisée dans la production de circuits intégrés (IC), de systèmes microélectromécaniques (MEMS) et de dispositifs de nanotechnologie. L'unité TEL OPUS est développée par TEL (TOKYO ELECTRON Limited), un important fabricant d'équipements semi-conducteurs connu pour ses solutions innovantes dans l'industrie mondiale des semi-conducteurs. Le procédé de photorésistance, étape cruciale de la photolithographie, est la principale technique utilisée pour transférer des motifs sur des substrats semi-conducteurs. La photorésist est un matériau photosensible qui subit un changement chimique lorsqu'il est exposé à la lumière, permettant l'élimination sélective du matériau lors des processus de gravure. Cet outil offre des capacités de modélisation haute résolution, permettant la création de motifs complexes avec des fonctionnalités submicroniques essentielles pour la production de dispositifs semi-conducteurs avancés. TEL/TOKYO ELECTRON La technologie de pointe est utilisée pour réaliser un revêtement photorésist précis et uniforme sur les plaquettes semi-conductrices. Il intègre des mécanismes de distribution avancés et des techniques de revêtement pour assurer une épaisseur de couche optimale et l'uniformité sur la surface de la plaquette. Cette uniformité est essentielle pour assurer un transfert cohérent des motifs et assurer la fonctionnalité et les performances des dispositifs semi-conducteurs fabriqués. En plus d'un revêtement précis, ce modèle offre des capacités d'exposition avancées pour le marquage à haute résolution. L'équipement dispose de sources lumineuses avancées, d'optiques de projection et de mécanismes de contrôle d'étage qui permettent la projection précise des motifs sur les plaquettes revêtues de résines photosensibles. Ces capacités d'exposition sont essentielles pour obtenir des caractéristiques fines et des tolérances de conception strictes requises pour les dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération. De plus, le système TOKYO ELECTRON (Système de Contrôle Électronique de Tokyo) comprend des fonctions sophistiquées de contrôle et de surveillance des processus pour garantir la qualité et la répétabilité du processus de fixation. Il intègre une surveillance en temps réel des paramètres critiques tels que la dose d'exposition, la concentration et l'alignement afin d'optimiser la performance et le rendement du processus. L'unité comprend également des outils de métrologie avancés pour caractériser la fidélité des motifs et mesurer les dimensions critiques afin de répondre à des exigences de qualité rigoureuses. Cette machine est conçue pour supporter différents types de résines photosensibles, y compris les résistances aux tons positifs et négatifs, ainsi que les résines amplifiées chimiquement spécialisées pour des applications spécifiques. L'outil offre une flexibilité dans l'optimisation des processus et le développement de recettes pour répondre à un large éventail d'exigences d'appareils et de processus de fabrication. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Agri représente un progrès technologique important dans les systèmes photorésistants pour la fabrication de semi-conducteurs. Son revêtement précis, ses capacités de fixation haute résolution, ses caractéristiques d'exposition avancées et ses fonctionnalités robustes de contrôle des processus en font un outil précieux pour la production de dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération avec des fonctionnalités et des performances avancées. Au fur et à mesure que la technologie des semi-conducteurs continue d'évoluer, le modèle TEL Metrous reste à l'avant-garde de l'innovation, soutenant la transition de l'industrie vers des caractéristiques plus petites et des densités d'appareils plus élevées.
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