Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9102159 à vendre en France
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ID: 9102159
Coater / developer plate station
Clean track
Process Block
Process Block Robotics Arm
Coat Process Station
Develop Process Station
Plate Process Station.
TEL/TOKYO ELECTRON est un équipement de photorésistance utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, tels que des puces informatiques, et d'autres composants électroniques. Le système applique un matériau sensible à la lumière, ou photorésist, à une plaquette de silicium. Lors de l'exposition à la lumière, certaines parties de la plaquette de silicium seront gravées, en fonction de l'exposition de la résine photosensible. La forme physique des composants peut alors être gravée dans les zones restantes, laissant au produit obtenu le motif microdimensionnel désiré. L'unité de résistance photosensible TEL (TEL) est une capacité basée sur le vide qui est développée pour tracer une couche critique de couverture uniforme de matériaux de résistance photosensible à travers une plaque de silicium complète ou un autre substrat. La machine contrôle le mouvement de plusieurs processus simultanément pour offrir la meilleure uniformité et productivité. Il suit le processus de lithographie étape par étape assurant la programmation complète des propriétés spéciales requises pour la performance du processus final. L'outil a la capacité de manipuler des plaquettes de silicium de 200mm, et fonctionne également avec des plaquettes de 300 mm de plus grand diamètre, ainsi qu'avec d'autres substrats, comme le verre. Un large éventail de résistances, du positif au négatif, est disponible pour une utilisation dans l'actif. Différentes résistances doivent être utilisées pour les besoins spécifiques de chaque technicien et un certain nombre de substrats tels que le quartz, le quartz sur quartz, le verre ou le silicium, selon l'application. Cela permet une multitude d'utilisations des applications semi-conductrices aux applications d'affichage et de cellules solaires. TOKYO ELECTRON Le modèle de photorésist de la marque de Tokyo fonctionne en plusieurs étapes, dont le rinçage au spin, le pré-enrobage, le post-coat, le pré-bake, le pain doux et le pain moelleux. Chacune de ces étapes est surveillée pour s'assurer que les résultats souhaités sont atteints, et l'adhésion et la latitude du processus sont conformes aux spécifications. L'équipement est également capable d'utiliser une stratégie de résistance multicouche avec des résistances de type positif et négatif, permettant de concevoir des modèles de très haute qualité. L'ensemble du système est piloté par le logiciel, permettant une facilité d'utilisation et de programmation. Il supporte la capacité multi-plaquettes, permettant une solution entièrement automatisée qui peut remplacer la manutention manuelle des plaquettes. En outre, l'unité est équipée d'un certain nombre de caractéristiques de processus qui sont à la fois sûres et fiables, telles que la température, le temps d'exposition, la vitesse de rotation et la pression, qui doivent tous être précisément chronométrés pour obtenir les résultats souhaités. Dans l'ensemble, la photorésistante de l'entreprise de photorésistance offre un moyen fiable et efficace de fabriquer des composants semi-conducteurs très complexes et précis. Il offre un grand degré de contrôle et de précision, et son processus automatisé assure la qualité constante des produits.
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