Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9102163 à vendre en France
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ID: 9102163
Electron Cassette Career Station Block (CSB)
Copper Exposed
Career Station Block Robotics Arm CRA
(4) Front Opening Unified Pods (FOUP)
(4) Mapping Units
Motion Control Unit
Mitsubishi Computer.
TEL/TOKYO ELECTRON est un équipement de photorésistance qui utilise des illuminateurs pour créer des motifs de lithographie sur des substrats de plaquettes dans l'invention de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour réduire le temps nécessaire à la création d'un motif lithographique sur un substrat en plaquette et créer des motifs lithographiques plus précis. Pour créer ces modèles de haute précision, le système TEL (TEL) utilise une combinaison d'optiques intégrées, de sources lumineuses avancées, d'une unité de transmission de la lumière et de technologies de lithographie exclusives, y compris l'exposition au faisceau d'électrons, et de sources d'éclairage I-line, Deep UV et EUV. En utilisant ces technologies, la machine peut générer des motifs lithographiques denses, uniformes et de haute précision sur une grande surface. L'optique intégrée permet aux sources lumineuses de créer des motifs très précis et localisés, et l'outil de transmission de la lumière aide à transmettre la lumière aussi précisément que possible. L'actif lithographique utilise également plusieurs technologies exclusives, y compris sa technologie d'exposition au faisceau d'électrons, qui utilise des faisceaux d'électrons très concentrés pour créer des motifs sur une grande surface. Il utilise également des sources d'éclairage en ligne I, en profondeur UV et EUV avec des émissions de longueur d'onde de 248 nm à 13,5 nm. Le modèle est également livré avec une gamme de fonctionnalités de précision de superposition et de contrôle de processus, y compris la cartographie automatisée des plaquettes, le contrôle de l'angle de balayage, et la compensation de la température. Ensemble, ces caractéristiques aident à s'assurer que les motifs créés par l'équipement de lithographie sont précis et précis. TOKYO ELECTRON (TOKYO ELECTRON) est conçu comme un système très efficace pour la fixation de substrats de plaquettes. La combinaison de l'optique intégrée, des sources lumineuses et des technologies exclusives aide à créer des modèles de lithographie extrêmement précis, réduisant le temps nécessaire à la fabrication. L'unité est également très précise, avec la cartographie automatisée des plaquettes et d'autres caractéristiques pour s'assurer que les motifs sont précis et uniformes. Ensemble, ces caractéristiques font de lui une machine idéale pour créer des motifs lithographiques de haute qualité.
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