Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111778 à vendre en France
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ID: 9111778
ADH Adhesion Process Station
BASE(HP) ASSY BACK, P/N: 5087-401692-19
PIN(ADH) ASSY, P/N: 5087-401608-12
SUPPORT(ADH) ASSY, P/N: 5085-407303-12
BASE(E-ADH) ASSY, P/N: 5087-401362-16
COVER(HP) ASSY, P/N: 5085-407301-12
PLATE(ADH) ASSY, P/N: 5085-402644-12
CHAMBER(ADH) ASSY, P/N: 5085-407298-13
COVER(ADH)ASSY BACK, P/N: 5085-408278-14.
TEL/TOKYO ELECTRON est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir des performances de fixation de haute qualité avec des coûts faibles et des débits élevés. Le système utilise une technique de lithographie appelée photolithographie optique. Il s'agit d'un procédé impliquant la projection de lumière à travers un masque pour produire des motifs sur le matériau semi-conducteur. L'unité TEL Metrous est équipée d'une source optique avancée qui émet de la lumière ultraviolette (UV). Cette lumière UV est dirigée à travers un masque de lumière sur un matériau semi-conducteur revêtu de photorésist. La couche de photorésist est photosensible et modifiera sa structure lorsqu'elle sera exposée à la lumière, créant ainsi un motif. Ce motif peut alors être développé et transféré sur le matériau semi-conducteur. La machine dispose d'un outil d'éclairage optique avancé, un module d'alignement à trois degrés de liberté (3-DOF), un balayage avancé des plaquettes, et une résolution améliorée des caractéristiques, jusqu'à 65nm. L'actif est capable de produire des motifs de haute précision avec des largeurs de ligne de 1-2um, ainsi que d'éliminer complètement les effets de couture. Il dispose également d'un modèle de contrôle de photorésist avancé qui permet de gérer avec précision la température, la composition et la viscosité de la couche de photorésist. L'équipement dispose également d'un système d'alignement automatique qui assure un alignement précis et un marquage précis sur différents types de matériaux. Il dispose d'une unité de correction spécialisée qui peut efficacement éliminer tous les artefacts ou irrégularités créés au cours du processus. En outre, la machine comporte un outil de dépôt pour l'ajout de couches de protection sur la surface structurée du substrat. L'actif est capable d'exécuter plusieurs processus simultanément et est compatible avec la plupart des aligneurs de masques et des paliers de plaquettes. Il est également capable de manipuler de grandes et complexes conceptions avec plusieurs couches et caractéristiques. Dans l'ensemble, le modèle TOKYO ELECTRON Extrêmement est conçu pour fournir une solution rentable tant pour la fabrication de haute précision que pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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