Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111796 à vendre en France
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ID: 9111796
LHP Low Temperature Hot Plate Process Station
BASE(HP) ASSY BACK, P/N: 5087-401692-19
PIN(LHP) ASSY, P/N: 5087-401693-14
SUPPORT ASSY, P/N: 5085-407314-12
BASE(E-LHP) ASSY, P/N: 5087-401375-16
COVER(HP) ASSY, P/N: 5085-407301-12
PLATE ASSY, P/N: 5085-402639-13
CHAMBER (LHP) ASSY - 5085-407323-15
COVER(LHP)ASSY BACK - 5085-407933-14.
TEL/TOKYO ELECTRON est un équipement photorésist fiable de TEL, un fournisseur mondial de premier plan d'équipements et de matériaux de fabrication de semi-conducteurs. Les systèmes photorésistants sont utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, notamment lors de processus de lithographie où l'imagerie photorésistante est utilisée pour transférer des motifs de circuits sur des plaquettes de silicium. TEL Metrous est conçu pour une haute précision et fiabilité, offrant des caractéristiques uniques qui permettent d'améliorer les performances des processus. Le système est conçu pour réduire les problèmes communs associés à l'exposition aux photorésistances, comme l'exposition inégale et la distorsion des motifs. Il le fait en utilisant une unité optique avancée avec une grande ouverture numérique (NA) et une grande précision de longueur d'onde. Il dispose également d'une machine d'asservissement Z programmable qui peut ajuster précisément la position de la plaquette en fonction d'une conception prédéfinie. Les servomoteurs optiques et Z peuvent être facilement calibrés pour une précision et une répétabilité améliorées. TOKYO ELECTRON (TOKYO ELECTRON) offre stabilité et fiabilité grâce à une large gamme de conditions de température et d'humidité, grâce à son outil automatisé de contrôle de température et d'humidité. Cela permet de s'assurer que les photorésistes utilisés pour l'imagerie conservent leurs propriétés même après de longs temps d'exposition. L'actif est également équipé d'une fonction de sécurité qui met automatiquement fin au processus d'exposition si les niveaux de température et d'humidité dépassent les seuils prédéterminés. De plus, le modèle dispose d'un mode caméra qui permet aux utilisateurs de surveiller facilement le processus photorésist. Cette fonctionnalité fournit des données d'imagerie numérique en temps réel qui peuvent être utilisées pour détecter rapidement les défauts ou les erreurs au cours du processus de lithographie. Le mode caméra peut également être utilisé pour ajuster les paramètres d'exposition afin d'améliorer la qualité de l'image. Dans l'ensemble, le système de photorésistance est un équipement fiable qui offre des fonctionnalités conçues pour améliorer les performances des processus de lithographie. Il dispose d'un système optique avancé pour améliorer la résolution et la stabilité des couches, d'un servomoteur Z programmable pour un positionnement précis des plaquettes, d'un contrôle automatisé de la température et de l'humidité pour la stabilité et d'un mode caméra pour l'imagerie numérique. Ces caractéristiques et l'amélioration des performances du procédé font de TEL/TOKYO ELECTRON un choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs.
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