Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9235182 à vendre en France

LE TÉL / L'ÉLECTRON DE TOKYO Lithius, aussi connu comme la Grande région la Plate-forme Modelante Parfaite (LFtec), est un équipement de photolithographie qui est utilisé pour créer des dessins uniformes, à la taille de micron sur de grandes gaufrettes de semi-conducteur. Le système utilise un procédé d'imagerie thermique avancé pour exposer des motifs en photorésist avec une efficacité de débit élevée. Le LFtec est capable de produire des motifs de 5 à 20 µm et avec une précision d'alignement de 1 µm. L'unité LFtec est basée sur un processus de photolithographie, composé de trois parties principales ; l'optique d'éclairage, la photorésist et l'alignement photo. Tout d'abord, l'optique d'éclairage éclaire un motif spécifique sur la résine photosensible. Ensuite, la photorésist absorbe la lumière pour produire une réaction chimique qui dépend du type de photorésist. Le tampon photo aligne les motifs par rapport à chaque plaquette. TEL procédé d'imagerie thermique de pointe, qui est utilisé par la machine LFtec, contribue à améliorer l'efficacité du débit. Il dispose d'une source de lumière infrarouge pour chauffer rapidement la photorésist, ce qui aide à exposer le motif de manière beaucoup plus rapide par rapport à l'équipement de photolithographie traditionnel. Il dispose également d'un filtre spatial de haute précision soigneusement contrôlé pour réduire la distorsion de largeur de ligne des motifs. De plus, l'outil LFtec est conçu pour manipuler facilement des plaquettes de plusieurs dimensions allant de 200 mm à 12 pouces. Il fournit également une intégration complète avec des données en temps réel est d'assurer son exactitude et sa répétabilité. Les capacités d'imagerie uniques de l'actif LFtec en font un choix idéal pour créer des motifs complexes sur de grandes plaquettes. Les motifs uniformes et précis créés à partir du modèle le rendent hautement adapté à de nombreuses applications avancées telles que les circuits intégrés (IC), les écrans LED, et d'autres technologies.