Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9260375 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON est un équipement de photorésistance conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système utilise un format de banc humide à deux chambres, avec une chambre pour le prétraitement et une deuxième chambre pour le développeur. La chambre de prétraitement peut traiter les substrats par une combinaison de traitements acides et basiques ainsi que par un dopage de type p ou n. La chambre de développement contient la solution de photorésist, permettant à l'utilisateur d'appliquer des couches de photorésist sur le substrat avec une épaisseur et des profils précis. Des photomasques sont utilisés pour la fixation de la couche de photorésist, le profil du masque et l'intensité de la source lumineuse déterminant l'épaisseur et le profil de la couche de photorésist appliquée. L'unité comprend un contrôleur d'équipement, qui surveille la température et le débit des différentes solutions ainsi que les paramètres de la source lumineuse, du substrat et du photomasque. Cela permet un contrôle précis de chaque étape du processus, permettant des résultats reproductibles et précis. En outre, la machine comprend également une interface utilisateur graphique (interface graphique), qui permet à l'utilisateur de visualiser et de sélectionner les paramètres de l'outil et les recettes pour leur application. En outre, l'actif permet à l'utilisateur d'enregistrer des recettes et de traiter des paramètres pour une utilisation future. Cela garantit un processus cohérent, même lorsque des modifications doivent être apportées à une recette ou à un paramètre particulier du processus. Le modèle a également une fonction autofocus, qui garantit que la profondeur de mise au point appropriée est atteinte pendant la procédure de revêtement photorésist. Cette caractéristique empêche toute distorsion d'image de surface due à une mauvaise focalisation. TEL Metrous est un équipement photorésist extrêmement précis, permettant la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de haute précision et de haute qualité. L'interface utilisateur intuitive du système et des paramètres de procédure robustes permettent d'obtenir des résultats très précis et reproductibles, garantissant ainsi un processus efficace et fiable.
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